2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,越來越多的新型半導(dǎo)體材料開始步入人們的視線,如氧化鋅、氮化鎵等,而 MOCVD(金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積)設(shè)備則是該產(chǎn)業(yè)最基礎(chǔ)的一環(huán)。MOCVD設(shè)備可以在一定溫度、壓力等條件下以氣體反應(yīng)物生產(chǎn)高精度的半導(dǎo)體單晶。反應(yīng)腔為設(shè)備中最重要的一環(huán),而溫度的控制則是工藝的重點(diǎn)。反應(yīng)氣體通過噴淋輸入到反應(yīng)腔體,噴淋表面的溫度控制是其中的重要一環(huán)。為了實(shí)現(xiàn)對噴淋表面的溫度控制,需要在MOCVD設(shè)備中加入換熱裝置以及溫控系統(tǒng),這種換熱

2、裝置要求體積小、換熱功率高、溫度控制精確。目前,這種小型化可控溫度的熱交換機(jī)在國內(nèi)很少有廠家生產(chǎn),主要依賴進(jìn)口,價格高、維修不便。本文的主要目的是研究一款小型的大功率可控溫度的熱交換機(jī),從而降低成本,提高競爭力。
  首先,本文對熱交換機(jī)中的核心,即板式換熱器,進(jìn)行了仿真。建立了板式換熱器的單流道模型,并檢驗(yàn)了網(wǎng)格敏感性。計(jì)算了同一模型在不同的網(wǎng)格劃分情況下,努賽爾數(shù)和摩擦因子的大小,并選定了0.65 mm作為最大網(wǎng)格尺寸。將模擬

3、結(jié)果與相關(guān)文獻(xiàn)比較,證明了模擬結(jié)果是可靠的。
  其次,本文對通過正交試驗(yàn),以較少的試驗(yàn)組數(shù)實(shí)現(xiàn)了對板式換熱器的三個波紋參數(shù)的研究。設(shè)計(jì)了正交試驗(yàn),并對相同工況下,對具有不同波紋參數(shù)的板片的單流道模型進(jìn)行了仿真。使用統(tǒng)計(jì)軟件對仿真結(jié)果進(jìn)行分析,得到了各個參數(shù)對換熱性能以及壓降性能的影響。根據(jù)文獻(xiàn),對換熱器的評價因子進(jìn)行計(jì)算和分析。根據(jù)評價因子對波紋參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化,得到了最優(yōu)的波紋參數(shù)。之后對最優(yōu)參數(shù)板片的雙流道模型進(jìn)行模擬,證明了

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