V槽光學(xué)元件模壓模具精密磨削工藝研究.pdf

1、隨著應(yīng)用需求的驅(qū)動(dòng)，將超精密加工技術(shù)和復(fù)制加工技術(shù)相結(jié)合，利用超精密加工技術(shù)加工出復(fù)制過(guò)程所需的微結(jié)構(gòu)模具，再利用高精度的微結(jié)構(gòu)模具復(fù)制加工出微結(jié)構(gòu)光學(xué)功能元件無(wú)疑是微光學(xué)元件最為理想的大批量生產(chǎn)的加工方法。復(fù)制過(guò)程中，微結(jié)構(gòu)模具的加工精度與表面質(zhì)量對(duì)最終復(fù)制出的光學(xué)元件的性能起著決定性的作用，但由于超硬模具材料的難加工性，目前對(duì)于此類材料微細(xì)結(jié)構(gòu)的加工，采用金剛石砂輪進(jìn)行精密磨削加工是最為有效的方法。
　　本研究采用青銅結(jié)合劑金

2、剛石砂輪進(jìn)行超硬模具材料碳化鎢J05 V形槽的精密成形磨削試驗(yàn)，金屬結(jié)合劑金剛石砂輪耐磨性好，磨料層強(qiáng)度高，磨削過(guò)程無(wú)需頻繁修整。磨削前先對(duì)砂輪進(jìn)行電火花修整，然后通過(guò)試驗(yàn)研究磨削深度、砂輪轉(zhuǎn)速等磨削參數(shù)的變化對(duì)最終磨削效果的影響，同時(shí)探究磨削過(guò)程中砂輪的磨損情況，本文主要就以下幾方面的內(nèi)容展開(kāi)研究。
　　(1)精密磨削前首先對(duì)金剛石砂輪進(jìn)行電火花精密修整并對(duì)修整情況進(jìn)行評(píng)價(jià)，保證砂輪表面良好的磨粒出刃情況及較高的V形尖端形貌精度

3、。
　　(2)然后進(jìn)行碳化鎢J05的平面磨削試驗(yàn)，探究磨削工藝參數(shù)的變化對(duì)磨削力及最終磨削表面質(zhì)量的影響規(guī)律;同時(shí)對(duì)磨削表面進(jìn)行光磨試驗(yàn)，考察光磨次數(shù)對(duì)磨削表面粗糙度的影響，為后續(xù)V形槽陣列的精密磨削提供樣件準(zhǔn)備及試驗(yàn)依據(jù)。
　　(3)最后對(duì)碳化鎢J05工件進(jìn)行V形槽精密磨削試驗(yàn)，探究磨削過(guò)程中工藝參數(shù)的變化對(duì)V形槽底部圓弧半徑及磨削力的影響規(guī)律，然后結(jié)合平面磨削的試驗(yàn)結(jié)果選取最優(yōu)工藝參數(shù)組合進(jìn)行V形槽的精密成形磨削并對(duì)V形