一種新型噴墨打印頭的設計及制作.pdf

1、本文介紹了打印機的分類及不同類型的打印原理，并提出了一種新型噴墨打印頭的結構設計。使用COMSOL模擬仿真軟件對結構中的振動板厚度以及PZT與振動板寬度的比例進行了優(yōu)化。新型噴墨打印頭采用的是振動結構與腔室一體化成型的制作工藝流程。減少了工藝過程中對于高精度對準設備的依賴性，并于整體上降低了器件的制作成本。PZT壓電材料作為振動板結構中的動力部件，通過壓電材料的壓電效應將電能轉化成為機械能。振動板采用四邊固定的類型，當振動板發(fā)生振動時，

2、會使腔室的體積發(fā)生變化。配以供墨通道處的限流結構，可使腔室中的墨水噴出腔室，從而達到噴墨的目的。
　　詳細捕述了包括PZT前驅體溶液配制在內的噴墨頭各組成部分的各項工藝操作。并解決了采用溶膠-凝膠法制備PZT薄膜時出現(xiàn)的薄膜開裂與生成碳化顆粒的問題。提升了PZT壓電薄膜的性能與薄膜質量。使用了PECVD的方式制備了氮化硅薄膜作為振動板的組成部分。并通過對制備過程中的基體溫度、射頻功率以及氣體的流量這三個因素的調節(jié)沉積出優(yōu)質的氮化硅