大相對口徑離軸非球面補償檢驗技術(shù)研究.pdf

1、光學相機中離軸非球面的應用有兩個主要優(yōu)點：一、增大視場；二、無中心遮攔。光學系統(tǒng)性能指標的不斷提高，要求離軸非球面的相對口徑與離軸量都在不斷增大，而且面形精度也越來越高，相應地其面形檢測精度也必然提高。本文針對大相對口徑離軸非球面的補償檢驗，設計了由三片透鏡組成的補償器結(jié)構(gòu)，并對補償檢驗系統(tǒng)的公差進行分析和監(jiān)測，面向確定性修形加工解決了投影畸變的校正問題。以下三個部分是本論文的主要研究工作：
　　1、對高次非球面的非球面度進行計算

2、分析，然后根據(jù)三級像差理論及幾何光學知識對補償器初始結(jié)構(gòu)進行計算。以波像差為優(yōu)化目標，利用 ZEMAX軟件對補償器參數(shù)進行仿真優(yōu)化，優(yōu)化后的剩余像差能夠滿足精度要求。然后對補償器性能進行分析，包括補償器鬼像分析以及參數(shù)公差分析等。最后，通過偏心儀、間隙儀、球徑儀等儀器完成補償器的裝調(diào)工作。
　　2、通過光學追跡方法計算失調(diào)量影響系統(tǒng)像差的靈敏度模型，反過來根據(jù)實際像差估計失調(diào)量，實現(xiàn)計算機輔助裝調(diào)。分析了離軸量約束條件下的計算機輔