基于ANSYS的單晶爐有限元分析及結(jié)構(gòu)改進(jìn).pdf

1、隨著光伏產(chǎn)業(yè)和信息產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，全世界對(duì)制造太陽(yáng)能電池和集成電路的基礎(chǔ)性材料單晶硅的需求量在不斷加大，同時(shí)對(duì)單晶硅的品質(zhì)和質(zhì)量要求也越來(lái)越嚴(yán)格，這就對(duì)單晶硅生長(zhǎng)設(shè)備的功能和性能提出了更高的要求。單晶爐在拉制單晶的過(guò)程中，提拉系統(tǒng)、下傳動(dòng)系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)與單晶的生長(zhǎng)過(guò)程有直接的聯(lián)系，二者的運(yùn)動(dòng)關(guān)系需根據(jù)單晶生長(zhǎng)機(jī)理合理分配，因此任何一個(gè)系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)出現(xiàn)問(wèn)題就會(huì)導(dǎo)致單晶生長(zhǎng)缺陷甚至是拉晶失敗。實(shí)際生產(chǎn)發(fā)現(xiàn)，某型號(hào)單晶爐提拉系統(tǒng)在引晶階段常會(huì)出現(xiàn)軟軸

2、擺動(dòng)和坩堝中多晶體液面不穩(wěn)定的現(xiàn)象，這嚴(yán)重影響了單晶硅的質(zhì)量和生產(chǎn)效率。
　　本文建立了某型號(hào)單晶爐整體結(jié)構(gòu)的三維實(shí)體模型和有限元模型。首先，對(duì)單晶爐整體結(jié)構(gòu)在三種工況下做靜力分析，得到單晶爐整體結(jié)構(gòu)的應(yīng)力和變形分布;其次，對(duì)單晶爐整體結(jié)構(gòu)、提拉系統(tǒng)和下傳動(dòng)系統(tǒng)分別做引晶階段的模態(tài)分析，找出提拉系統(tǒng)軟軸擺動(dòng)和坩堝液面抖動(dòng)的原因，為實(shí)際生產(chǎn)提供參考;再次，對(duì)單晶爐的引晶階段做熱分析，得到單晶爐在引晶階段的熱應(yīng)力和熱變形分布;最后，根