用于測量平晶透射波前的夏克哈特曼測試系統(tǒng)的研制.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著科學技術(shù)的發(fā)展,各類光學系統(tǒng)對高精密光學元件的需求也不斷增多。而光學元件的面形及透射波前作為影響光學系統(tǒng)成像質(zhì)量的重要參數(shù)顯得尤為重要。特別是在大口徑光學元件的檢測中,如何對其進行非接觸、快速、在線檢測是光學元件加工中必須解決的關(guān)鍵問題。而夏克哈特曼波前傳感器能在測量裝置的自身震動和空氣或外界介質(zhì)的擾動干擾情況下進行有效的波面定量測量,因此與傳統(tǒng)的干涉儀、刀口儀等其它測量儀器相比,不失為解決這一問題的一個較好的選擇。夏克哈特曼波前傳

2、感器已廣泛應用于自適應系統(tǒng)中,并在光學元件和光學系統(tǒng)的測量領(lǐng)域中,它也成為了一個不可或缺的強有力的工具。
   本文介紹了哈特曼技術(shù)的發(fā)展歷史與研究現(xiàn)狀,詳細分析了傳感器的基本結(jié)構(gòu),闡述了以傳感器為核心的夏克哈特曼測試技術(shù)的基本原理,并在此基礎(chǔ)上,針對ICF光學元件現(xiàn)場測試的需求,設(shè)計并研制了一種測量光學元件透射波前像差的測試系統(tǒng)。該系統(tǒng)由光源組件和測試組件兩部分組成,測試口徑為Φ150mm。系統(tǒng)具有粗對準、精對準和校準等功能,

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