轉(zhuǎn)印法生產(chǎn)彩色濾光片出現(xiàn)的缺陷的分析及改善.pdf

1、目前，平板顯示已經(jīng)成為顯示產(chǎn)業(yè)主角。2011年平板顯示產(chǎn)業(yè)規(guī)模較2010年增長10％。平板顯示中最成功的為TFT-LCD顯示技術(shù)，已占平板顯示產(chǎn)品銷量80%以上。而TFT-LCD面板之所以能夠產(chǎn)生色彩的變化主要是來自彩色濾光片,彩色濾光片是構(gòu)成彩色圖像的關(guān)鍵組件。高品質(zhì)的彩色濾光片決定性地影響著TFT-LCD的色彩表現(xiàn)。因此，為了推動彩色濾光片的高品質(zhì)化，就需要更高的精度同時(shí)具有低的工藝成本，轉(zhuǎn)印法因運(yùn)而生。
　　轉(zhuǎn)印法是一門相對

2、較新的技術(shù)，主要通過將轉(zhuǎn)印膜以卷筒膜的形態(tài)提供，然后使用轉(zhuǎn)印機(jī)，通過熱轉(zhuǎn)印將光阻層形成在基板上，然后通過曝光、顯影，形成彩膜。轉(zhuǎn)印法生產(chǎn)的彩色濾光片由于轉(zhuǎn)印膜的獨(dú)特設(shè)計(jì)原因而具有較好的膜厚形狀和均勻性，且其轉(zhuǎn)印機(jī)本身貼附精度很高也使生產(chǎn)的彩膜具有高精確度性。然而，轉(zhuǎn)印法也會產(chǎn)生一些較獨(dú)特的缺陷，諸如在轉(zhuǎn)印膜剝離時(shí)產(chǎn)生的膜屑?xì)堅(jiān)鼘?dǎo)致的共缺、轉(zhuǎn)印后基板長時(shí)間等待而造成的液晶間隔物柱高異常等。本文通過多種有效途徑對缺陷進(jìn)行了分析與改善，例如對