基于MCs-51單片機(jī)的甩干機(jī)系統(tǒng)設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn).pdf

1、本設(shè)計(jì)介紹了基于MCS-51系列8051單片機(jī)的甩干機(jī)控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)。在半導(dǎo)體工藝中把做好的芯片從大源片上分離開(kāi)來(lái),需要一步叫劃片的工藝。劃片工藝是使用金剛砂輪把硅片切開(kāi),在切割的過(guò)程中能產(chǎn)生大量的硅片和金屬等的碎渣,這些碎渣會(huì)對(duì)芯片造成沾污,這就需要在劃片工藝中形成的礦渣進(jìn)行清除,方法是對(duì)硅片進(jìn)行清洗。傳統(tǒng)的清洗方法是用高壓水槍噴水清洗,或者用棉絨等蘸水擦洗,然后用氮?dú)獯蹈?。這些方法容易造成對(duì)做好的芯片表面的劃傷或者二次污染,清洗效果

2、不佳。
　　所以需要有一種專(zhuān)門(mén)清洗這種硅片的設(shè)備,既能清洗干凈,又不會(huì)產(chǎn)生二次污染。國(guó)外對(duì)此工藝的處理,先進(jìn)的大公司使用的是清洗機(jī),但一般使用PLC控制,功能強(qiáng)大,但成本很高,不利于大范圍的推廣使用。結(jié)合此經(jīng)驗(yàn),用兩個(gè)MSC-51系列8051單片機(jī)代替PLC,既能完成清洗工藝,又降低了成本。這種清洗機(jī),首先利用噴出的氮?dú)夂透邏核畞?lái)清洗硅片,然后停止噴水,利用高速旋轉(zhuǎn)和噴出的氮?dú)?將硅片吹干,使硅片的清洗和干燥比較均勻。主要完成的功

3、能包括按鍵控制、LCD顯示、抽真空吸片、低速旋轉(zhuǎn)沖洗、高速旋轉(zhuǎn)甩干、步進(jìn)電機(jī)擺動(dòng)、排水以及由氣缸控制的開(kāi)關(guān)門(mén)動(dòng)作。單片機(jī)系統(tǒng)輸出的信號(hào)經(jīng)三極管放大后,由驅(qū)動(dòng)芯片進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制12V繼電器,再控制電磁閥和直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)器,從而控制各功能部分動(dòng)作。同時(shí)單片機(jī)輸出一定頻率的脈沖信號(hào)和高低電平信號(hào)到步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器,控制步進(jìn)電機(jī)的擺動(dòng)速率和方向。單片機(jī)掃描鍵盤(pán)狀態(tài),根據(jù)狀態(tài)進(jìn)行特定的動(dòng)作。各個(gè)檢測(cè)傳感器把檢測(cè)到的信號(hào)放大后輸入到單片機(jī)中進(jìn)行運(yùn)算處理。