催化燃燒式微結(jié)構(gòu)氣體傳感器研究.pdf

1、本論文主要研究針對(duì)?；房扇夹詺怏w檢測(cè)設(shè)計(jì)的微結(jié)構(gòu)氣體傳感器。目前生產(chǎn)的催化燃燒式氣體傳感器采用傳統(tǒng)手工繞線、涂覆工藝,生產(chǎn)的器件存在一致性差、匹配性不好的缺點(diǎn)。本論文通過MEMS技術(shù)和平面金屬薄膜技術(shù)完成催化燃燒式氣體傳感器制作,主要研究計(jì)算機(jī)有限元結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、氣體敏感材料合成、摻雜修飾改性技術(shù)、微加工工藝、測(cè)試系統(tǒng)的研究及傳感器性能測(cè)試等內(nèi)容。
　　 本論文首先從傳感器的關(guān)鍵部件——微熱板結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)進(jìn)行研究,對(duì)傳感器進(jìn)行材料優(yōu)化

2、選擇,確定微熱板材料厚度及電極圖形結(jié)構(gòu)尺寸,實(shí)現(xiàn)降低器件功耗的目的。其次,利用有限元熱電耦合分析微結(jié)構(gòu)氣體傳感器及帶有引線的情況,并對(duì)微熱板的加熱電壓與熱場(chǎng)分布進(jìn)行仿真。
　　 搭建傳感器測(cè)試系統(tǒng),室溫工作狀態(tài)下,系統(tǒng)研究微結(jié)構(gòu)氣體傳感器的性能及數(shù)據(jù)處理。試驗(yàn)結(jié)果表明,煤油氣體傳感器的最佳測(cè)試范圍為0～2000ppm,傳感器的遲滯為0.93％F·S,重復(fù)性為2.06％F·S,線性度為4.08％F·S,準(zhǔn)確度為4.66％F·S。<