MEMS溫濕度傳感器集成系統(tǒng)設計.pdf_第1頁
已閱讀1頁，還剩61頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進行舉報或認領

文檔簡介

1、溫濕度是與人類緊密相聯(lián)的兩個環(huán)境因素，在社會生產(chǎn)生活中起著重要的作用。在現(xiàn)代工業(yè)應用中，傳統(tǒng)的溫濕度傳感器已經(jīng)不能滿足某些特定的環(huán)境監(jiān)測需求，集成傳感器系統(tǒng)由此應運而生。集成傳感器系統(tǒng)以大規(guī)模集成電路工藝和現(xiàn)代傳感器為兩大基礎，將敏感元件、信號調(diào)理電路、微處理器以及通信接口模塊等集成在一起。
　　本文對MEMS溫濕度傳感器集成系統(tǒng)進行開發(fā)。該集成系統(tǒng)由溫度傳感器、濕度傳感器、信號處理芯片等組成。本文所采用的溫度傳感器為MEMS微加

2、工工藝制備的薄膜結(jié)構(gòu)的鉑電阻傳感器，濕度傳感器為三明治電容式濕度傳感器。溫濕度傳感器與信號處理芯片被封裝到一起，封裝尺寸為16mm*8mm*3mm。信號調(diào)理電路能夠?qū)囟葌鞲衅鞯碾娮枇亢蜐穸葌鞲衅鞯碾娙萘哭D(zhuǎn)換成數(shù)字信號，實現(xiàn)高精度的溫濕度測量。信號處理芯片通過軟件控制實現(xiàn)溫濕度測量，將測量得到的數(shù)字信號轉(zhuǎn)換成實際的溫濕度值，并通過IIC協(xié)議實現(xiàn)數(shù)據(jù)輸出。同時，為了減小溫度的影響，集成系統(tǒng)中對濕度傳感器進行溫度補償，提高了濕度測試精度。<

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論