用于太陽(yáng)能電池板生產(chǎn)中的高精度恒溫槽設(shè)計(jì).pdf

1、針對(duì)全球范圍內(nèi)能源緊張的局面，太陽(yáng)能作為綠色能源越來(lái)越受到世界各國(guó)的重視。光伏發(fā)電是太陽(yáng)能利用的主要形式，具有廣闊的發(fā)展前景。光伏太陽(yáng)能電池板上要求生產(chǎn)PN結(jié)。在半導(dǎo)體PN結(jié)器件生產(chǎn)過(guò)程中，要求擴(kuò)散氣體恒溫在20℃(±0.1℃)。本文的設(shè)計(jì)就是用于生產(chǎn)半導(dǎo)體PN結(jié)時(shí)保證擴(kuò)散氣體的恒溫槽。
　　 介紹了恒溫槽測(cè)控系統(tǒng)的硬件構(gòu)成，包括觸摸屏、PLC、半導(dǎo)體制冷器、電熱管、熱電偶和信號(hào)調(diào)理電路等。對(duì)恒溫控制系統(tǒng)的模糊PID控制器進(jìn)行了

2、設(shè)計(jì)。模糊PID控制滿足了高精度控制領(lǐng)域中時(shí)變系統(tǒng)的控制精度要求，系統(tǒng)的控溫精度得到了提升。
　　 為了提高傳感器的測(cè)量精度，將多傳感信息融合技術(shù)運(yùn)用到測(cè)控系統(tǒng)中去。首先對(duì)每一個(gè)傳感器進(jìn)行時(shí)間上的分批估計(jì)，得到各個(gè)傳感器的局部決策值；接著對(duì)方差超過(guò)一定數(shù)值的數(shù)據(jù)進(jìn)行基于相對(duì)距離的再處理；最后運(yùn)行加權(quán)自適應(yīng)算法對(duì)各個(gè)局部決策值進(jìn)行融合。數(shù)據(jù)分析結(jié)果表明，處理后的數(shù)據(jù)更接近測(cè)量真實(shí)值。
　　 針對(duì)已建立的恒溫槽系統(tǒng)利用不同的