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文檔簡介
1、大口徑平面光學元件在空間光學、航空航天、激光聚變等諸多高技術領域的需求數(shù)量越來越多,大口徑平面光學元件的超精密加工技術已成為當代科技前沿的關鍵支撐技術之一。本文針對大口徑平面光學元件的高效、高精拋光需求,對大口徑平面光學元件快速拋光機進行了研制??焖賿伖饧夹g正處于發(fā)展之中,屬于新型拋光技術之一,該項技術的成熟發(fā)展,將為高檔光學、精密機械提供一種新的高效、高精度、低成本的數(shù)字化加工技術手段。
本文在分析光學玻璃的拋光機理、拋光工
2、藝關鍵因素以及聚氨酯拋光特點的基礎上,建立了平面元件的拋光模型;分析了光學薄板元件的裝夾特點,對光學薄板元件拋光裝夾方案進行了設計;根據(jù)多區(qū)域壓力調節(jié)原理,提出了一種通過對局部高面形區(qū)域進行加壓來提高該區(qū)域材料去除效率和拋光面形精度的方法。
本文研究了三種拋光機布局方案,經(jīng)過分析論證,采用了立墻式結構,拋光頭采用直線往復運動形式。根據(jù)機床設計技術指標,對大口徑快速拋光機進行了總體設計,對機床零部件進行了優(yōu)化設計,保證所設計的拋
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