壓電諧振微懸臂梁結(jié)構(gòu)優(yōu)化及諧振特性研究.pdf

1、。771113後旦大學(xué)學(xué)校代碼：10246學(xué)號；012021065碩士學(xué)位論文壓電諧振微懸臂梁結(jié)構(gòu)優(yōu)化及諧振特性研究院系(所)專姓信息科學(xué)與工程學(xué)院業(yè)：塑皇王堂皇墅堡壘王學(xué)名指導(dǎo)教師王軍軍黃宜平教授完成日期：至壘魚曼笙!旦!墨旦秉麓懿擎窟搦壘立公布一壓電諧振微懸臂梁結(jié)構(gòu)優(yōu)化及諧振特性研究為諧振基頻的偏移是由于微梁不平整引起的，其受到的殘余應(yīng)力導(dǎo)致了微梁諧振基頻的改變。本論文通過測量壓電諧振微懸臂梁的彎曲，計算了微梁受到的平均殘余應(yīng)力。在

2、長條形結(jié)構(gòu)受應(yīng)力作用而諧振基頻發(fā)生變化的經(jīng)典公式中，得到了與實際實驗測得相符的諧振基頻。壓電體受直流偏置電壓影響，其諧振基頻發(fā)生偏移的理論已有報導(dǎo)。附l’壓電薄膜在微結(jié)構(gòu)中往往是多層復(fù)雜結(jié)構(gòu)，本論文修改了適合壓電單體的計算理論，將壓電體受的電荷應(yīng)力效應(yīng)等效到多層結(jié)構(gòu)整體的諧振基頻的變化。修改后的計算理論仍然顯示直流偏置電壓對微梁的諧振基頻的影響是二階的。激光干涉實驗驗證了增加直流偏置電壓，微梁的諧振基頻隨之減小，兩者的變化關(guān)系是二階的，