壓電諧振微懸臂梁結(jié)構(gòu)優(yōu)化及諧振特性研究.pdf

1、。771113後旦大學(xué)學(xué)校代碼：10246學(xué)號(hào)；012021065碩士學(xué)位論文壓電諧振微懸臂梁結(jié)構(gòu)優(yōu)化及諧振特性研究院系(所)專姓信息科學(xué)與工程學(xué)院業(yè)：塑皇王堂皇墅堡壘王學(xué)名指導(dǎo)教師王軍軍黃宜平教授完成日期：至壘魚(yú)曼笙!旦!墨旦秉麓懿擎窟搦壘立公布一壓電諧振微懸臂梁結(jié)構(gòu)優(yōu)化及諧振特性研究為諧振基頻的偏移是由于微梁不平整引起的，其受到的殘余應(yīng)力導(dǎo)致了微梁諧振基頻的改變。本論文通過(guò)測(cè)量壓電諧振微懸臂梁的彎曲，計(jì)算了微梁受到的平均殘余應(yīng)力。在

2、長(zhǎng)條形結(jié)構(gòu)受應(yīng)力作用而諧振基頻發(fā)生變化的經(jīng)典公式中，得到了與實(shí)際實(shí)驗(yàn)測(cè)得相符的諧振基頻。壓電體受直流偏置電壓影響，其諧振基頻發(fā)生偏移的理論已有報(bào)導(dǎo)。附l’壓電薄膜在微結(jié)構(gòu)中往往是多層復(fù)雜結(jié)構(gòu)，本論文修改了適合壓電單體的計(jì)算理論，將壓電體受的電荷應(yīng)力效應(yīng)等效到多層結(jié)構(gòu)整體的諧振基頻的變化。修改后的計(jì)算理論仍然顯示直流偏置電壓對(duì)微梁的諧振基頻的影響是二階的。激光干涉實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了增加直流偏置電壓，微梁的諧振基頻隨之減小，兩者的變化關(guān)系是二階的，