多自由度微位移工作臺的研究.pdf

1、該文是"多自由度壓電式微位移機(jī)電系統(tǒng)研究"課題的重要部分之一.在收集了大量微位移工作臺方面的資料的基礎(chǔ)上,該文對國內(nèi)外的研究現(xiàn)狀做了介紹;對常見的微位移系統(tǒng)中的機(jī)構(gòu)和驅(qū)動器做了闡述和比較;還對微位移系統(tǒng)的評價標(biāo)準(zhǔn)做了較全面的總結(jié).在第二章和第三章中,采用了具有單一方向運(yùn)動而無耦合運(yùn)動的采用柔性鉸鏈的雙平行四桿微位移機(jī)構(gòu)和采用柔性鉸鏈的單平行四桿微位移機(jī)構(gòu),制定出了一種三自由度(X-Y-θ)工作臺的設(shè)計方案.并針對所用兩種微位移機(jī)構(gòu)推導(dǎo)了

2、它們的受力變形公式,建立了微位移工作臺轉(zhuǎn)動單元的優(yōu)化設(shè)計模型,對原設(shè)計參數(shù)做了改進(jìn).另外,該文還運(yùn)用了有限元模擬軟件,對微位移工作臺轉(zhuǎn)動和平動單元做了詳細(xì)的分析,研究了主要力學(xué)性能.在設(shè)計出工作臺具體結(jié)構(gòu)后,應(yīng)用有限元法分析了制造誤差,制定了一套可靠的工藝方案,成功地制造出樣機(jī).該文第五章中,利用了一套測試裝置分別測試了三個自由度上驅(qū)動力和位移的關(guān)系,驗證了理論研究和設(shè)計的正確性;另外,還測試了驅(qū)動器在安裝前后的特性,為該課題的進(jìn)一步研