激光圓度儀研究.pdf

1、長(zhǎng)春理工大學(xué)碩士學(xué)位論文激光圓度儀研究姓名：潘敏申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專(zhuān)業(yè)：儀器儀表工程指導(dǎo)教師：安志勇20070601摘要圓度誤差是指在垂直于回轉(zhuǎn)軸線截面上的輪廓對(duì)理想圓的變動(dòng)量。圓度誤差可以用多種方法測(cè)量，如V型塊法、氣動(dòng)法、光干涉法等。其中以精密主軸回轉(zhuǎn)式圓度儀精度高、測(cè)量方便、測(cè)量速度快，因而應(yīng)用最為廣泛。圓度儀按主軸的布局可分為轉(zhuǎn)臺(tái)式和轉(zhuǎn)軸式兩種。然而隨著科技的發(fā)展，精度要求越來(lái)越高，接觸式的測(cè)量方式己不能滿(mǎn)足要求于是以非接觸方式

2、測(cè)量的光電檢測(cè)技術(shù)以其高速、高精度、自動(dòng)化、智能化的優(yōu)點(diǎn)廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域。而圓度誤差的非接觸測(cè)量也成為一個(gè)必然趨勢(shì)。本文論述的激光圓度儀即是采用非接觸測(cè)量的儀器。主要論述了轉(zhuǎn)臺(tái)式激光圓度儀的總體設(shè)計(jì)，將圓度儀的工作原理、機(jī)械結(jié)構(gòu)和設(shè)計(jì)要求作一定的闡述并對(duì)此圓度儀的空氣靜壓軸系、精密立柱材料的選擇、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)以及電機(jī)的選擇作了進(jìn)一步的分析，尤其在圓度儀的激光測(cè)頭——非接觸激光測(cè)頭的工作原理、構(gòu)成原理、結(jié)構(gòu)形式以及誤差分析等作了更為全面和深