基于彎曲板波的拉曼型聲光移頻器的理論分析與設(shè)計.pdf

1、基于彎曲板波的拉曼型聲光移頻器的理論分析與設(shè)計⑧重慶大學(xué)碩士學(xué)位論文(學(xué)術(shù)學(xué)位)學(xué)生姓名：胡晶指導(dǎo)教師：溫志渝教授專業(yè)：儀器科學(xué)與技術(shù)學(xué)科門類：工學(xué)重慶大學(xué)光電工程學(xué)院二0一二年五月重慶人學(xué)碩t學(xué)位論文中文摘要摘要論文針對一種基于聲光效應(yīng)的微型加速度傳感器的總體設(shè)計要求，開展可敏感加速度的基于彎曲板波的拉曼型聲光移頻器新結(jié)構(gòu)的模擬、設(shè)計以及加工工藝研究，具有重要的科學(xué)意義和迫切的應(yīng)用需求。論文利用聲光互作用效應(yīng)，基于MEMS技術(shù)，提出了

2、一種基于彎曲板波的拉曼型聲光移頻器的橋型新結(jié)構(gòu)，詳細(xì)論述了該移頻器的工作原理；搭建實驗宏模型，驗證了其檢測原理；確定了移頻器的主要結(jié)構(gòu)參數(shù)；針對所提出的移頻器新結(jié)構(gòu)建立并分析了多層板理論模型和有限元模型；完成了移頻器的加工工藝流程和光刻掩模版圖的設(shè)計，進(jìn)行了移頻器原理樣機(jī)的試驗流片，并測試了樣機(jī)的性能。主要研究工作如下：①在分析與總結(jié)聲表面波聲光移頻器國內(nèi)外研究現(xiàn)狀的基礎(chǔ)上，基于MEMS技術(shù)，提出了一種可敏感外界加速度的基于彎曲板波的拉

3、曼型聲光移頻器新結(jié)構(gòu)，論述了該聲光移頻器的工作原理，搭建了實驗宏模型，驗證了其檢測原理：②針對所提出的移頻器新結(jié)構(gòu)，通過MATLAB求解瑞利一蘭姆方程，研究了A。模式彎曲板波在ZnO薄膜中的頻散特性，建立并分析了移頻器的多層板理論模型，獲得了各層材料厚度與諧振頻率的關(guān)系曲線，為后續(xù)的結(jié)構(gòu)參數(shù)設(shè)計奠定了理論基礎(chǔ)；③完成了移頻器主要部件，即叉指換能器和單模矩形Si基Si02光波導(dǎo)的設(shè)計，確定了移頻器的主要結(jié)構(gòu)參數(shù)，利用ANSYS軟件，建立了