擠出平模頭拋光加工機理與工藝研究.pdf

1、隨著中國塑料工業(yè)的發(fā)展，對高檔薄膜的需求也越來越大。而目前我國由多層共擠流延法制得的高檔薄膜還有賴于進口設備的生產，其主要原因是多層共擠薄膜設備的核心擠出平模頭的拋光加工技術還相對落后，不能滿足平模頭對直線精度、表面粗糙度及大尺寸的要求。因此，開展擠出平模頭自動拋光技術和拋光工藝的基礎研究，對研發(fā)出擁有自主知識產權的拋光設備具有重要意義。本文的主要工作和成果如下： 1.在分析塑料模具鋼材料特性的基礎上，設計了材料的可加工性試驗。

2、試驗結果表明，采用化學機械拋光的方法加工所獲得的加工表面能夠達到平模頭產品的粗糙度（小于20nm）的要求。 2.根據超精密拋光機床的設計要求和自動拋光的工藝要求，提出了擠出平模頭拋光機的總體設計方案。在分析控制要求和設計方案的基礎上，研制了擠出平模頭拋光樣機，對機械部件和控制系統(tǒng)進行了調試，并針對擠出平模頭尺寸特殊性設計了專門的工藝實施策略。 3.通過分析金屬CMP加工模型，研究了擠出平模頭拋光材料去除機理，并建立了磨粒

3、的力學模型、切入深度模型和材料去除效率模型，提出了一種能合理解釋擠出平模頭大平面形成機理的數學模型。 4.在新研制的擠出平模頭拋光樣機上進行拋光加工優(yōu)化實驗，研究了拋光載荷、拋光轉速和加工時間等工藝參數對工件表面粗糙度和去除率的影響，得到加工載荷為6.494KPa，磨盤轉速為120rpm，橫向進給轉速為60rpm時，能夠滿足擠出平模頭的粗糙度要求，并有較好的加工效率。 5.最后，對全文進行總結，并對進一步的研究提出了一些