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1、分類號:0 4 6 9題單位代碼:學(xué) 號:密 級:北京工業(yè)大學(xué)碩士學(xué)位論文Y 8 9 0 二二二l O 0 0 5S 2 0 0 3 0 6 0 4 8N b 2 0 5 一T i 0 2 和N b 2 0 5 .T a 2 0 5 體系陶瓷英文并列 s T u D Y o F T H E P R o c E s s A N D D I E L E c T R I c P R o P E R T I E s題 目 Q 墅照量至Q 5 :
2、! ! Q 至△叢墅奠曼2 Q 5 :! 色Q 5g 娶! 墜叁叢! £墨研究生姓名: 堂丞撻專 業(yè): 趟塞查物理 研究方向: 塹型撾料物絲叢廑旦導(dǎo)師姓名: 王越 職 稱: 副熬拯論文報告提交日期 2 Q Q 魚生§且 學(xué)位授予日期 2 Q Q 魚生魚旦授予單位名稱和地址一一 j E 塞王、業(yè)太堂( 地址;I E 塞壹塑豳匡堊巫圄! Q Q 曼) 由g 縞 ! Q Q Q 2 2A B S T R A C TW i t hm
3、ed e v e l o D m e n to f m i c r o e l e c t r o n i c s ,s i z e s o ft h em i c r o e l e c t r o n i cc i r c u i tb e c o m e s m a l l e r a n d s m a l l e r . F o r c a p a c i t i v e c o m p o n e n t s , d i e
4、 l e c t r i c c o n s t a j l t o fm a t e r i a l sl i m i t sd e 礦e eo fm i n i a t u r i z a t i o n .F o re x a r n p l e ,t h ec a p a c m V ed i e l e c m c 1 a y e ro f D R A M ( D y n a r n i c R a l l d o m A c
5、 c e s sM e m o r y ) i s n o w m a d eo f S i 0 2o rs i 3 N 4 .T h e i rd i e l e c t r i cc o n s t a n t sa r e3 .8 a n d 6 .Os u c c e s s i v e l yI t w i l ln o tm e e tt h en e e do f m e m o r yc a p a b i l i t
6、y i n t h en e a r 如t u r e .M a t e “a l sw i t hh i g h d i e l e c t r i c c o n s t a n ta n ds m a Ul o s sv a l u e sa r eu r g e n tf o r n e x t g e n e r a t i o nD R A M w i t h o v e r1 G m e m o r y c a p a b
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10、 0 1 i d - s t a t er e a c t i o nt e c l l l l i q u e .v a r i a t i o no f d i e l e c t r i cp r o p e n i e s a t 1 M H za t2 5 。Ca sa 脅c t i o no f c o m p o s i t i o n i nN b 2 0 5 - T i 0 2a 1 1 dN b 2 0 5
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15、i m p e l t h ed e v e l o p m e n ta n d a p p l i c a t i o n o fn e wd i e l e c 塒cs t o r a g em a t e r i a l .I ti ss o m es i g l l m c a l l c et ot 1 1 e n e x tg e n e r a t i o nD R A M d e v e l o p m e n t ,
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