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文檔簡介
1、對無線多傳感器網(wǎng)絡中紅外熱釋電傳感器模塊進行微小型化設計,一方面利用實際的工藝進行整個傳感器的電路板設計,另一方面提出利用微機械電子系統(tǒng)制造(MEMS技術)進行整個模塊的微型化設計是整個課題的構思設想。 根據(jù)課題的背景,詳細的分析所要探測的紅外輻射信號的特點,介紹了兩種不同的紅外探測器原理模型,根據(jù)這兩種模型由各種光電效應和光熱效應制成的不同紅外探測器及其性能參數(shù),并且詳述了各種不同紅外探測器的優(yōu)缺點,根據(jù)各種紅外傳感器的優(yōu)缺點
2、和實際應用環(huán)境的需要,本課題選擇了紅外熱釋電傳感器作為無線多傳感器網(wǎng)絡中紅外探測部分。 在對紅外熱釋電傳感器的原理進行分析后,將紅外熱釋電傳感器劃分為三個部分分別進行小型化的研究與設計,然后利用集成工藝對三個部分進行二次集成化設計。由于現(xiàn)有工藝的限制,因此本課題在實際設計中主要對電路部分進行集成設計。然后將調制部分菲涅爾透鏡、熱釋電探頭SD02集成在電路板的方法。 最后在提出利用微機械電子設計工藝對整個系統(tǒng)進行前瞻性研究
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