GaAs光電陰極激活工藝的自動(dòng)控制研究.pdf

1、負(fù)電子親和勢(shì)GaAs光電陰極由于其優(yōu)越的性能，在近幾十年中取得了迅猛的發(fā)展。目前通過(guò)幾個(gè)典型的激活工藝已經(jīng)能獲得較好的GaAs光電陰極，但這些工藝都處于半經(jīng)驗(yàn)半定量水平上，工藝影響的內(nèi)在機(jī)理并不十分清楚，激活過(guò)程都是由熟練的操作人員憑經(jīng)驗(yàn)完成。這種激活方式不僅消耗大量的人力，激活質(zhì)量和激活工藝的可重復(fù)性也得不到很好的保證。 本文正是基于這些原因，結(jié)合國(guó)家項(xiàng)目，圍繞激活的機(jī)理以及工藝的自動(dòng)控制進(jìn)行了研究。本文主要研究GaAs光電陰

2、極激活工藝的自動(dòng)控制，所設(shè)計(jì)的GaAs光電陰極智能激活測(cè)試系統(tǒng)，可以進(jìn)行陰極的自動(dòng)激活，提高激活的質(zhì)量。本文論述了GaAs光電陰極的發(fā)展現(xiàn)狀，開(kāi)展了GaAs光電陰極激活工藝的理論研究。分析現(xiàn)有的GaAs光電陰極表面模型，建立合理的表面模型，成功解釋了GaAs光電陰極的激活機(jī)理。本文研制了GaAs光電陰極智能激活測(cè)試系統(tǒng)。對(duì)系統(tǒng)的總體結(jié)構(gòu)、數(shù)據(jù)采集模塊進(jìn)行了設(shè)計(jì)和研制。本文設(shè)計(jì)了GaAs光電陰極激活工藝的自動(dòng)控制的算法。激活過(guò)程中，分別對(duì)