螺桿泵膠液分配實(shí)驗(yàn)研究與膠液擠出理論分析.pdf

1、隨著微電子封裝在國(guó)內(nèi)的迅猛發(fā)展，用于芯片封裝工藝的螺桿泵膠液分配技術(shù)以其適應(yīng)性強(qiáng)、效率高和精度高獲得了廣泛的應(yīng)用。但是目前，螺桿泵膠液分配裝備幾乎完全由國(guó)外公司供應(yīng)，形成壟斷之勢(shì)，而且價(jià)格昂貴；而在國(guó)內(nèi)對(duì)這方面的技術(shù)落后，機(jī)理研究不多，并被列為國(guó)家自然科學(xué)基金重大項(xiàng)目。本論文是該課題的重要研究?jī)?nèi)容之一。 本文分析了一個(gè)基于自建的螺桿泵膠液分配系統(tǒng)，詳細(xì)的闡述了膠液分配系統(tǒng)的集成，根據(jù)系統(tǒng)集成化的要求和功能需求，設(shè)計(jì)和實(shí)現(xiàn)用于螺桿

2、泵的驅(qū)動(dòng)控制器；由于存在系統(tǒng)平臺(tái)和基板誤差，嚴(yán)重地影響到系統(tǒng)的膠液分配效果，本文通過(guò)檢測(cè)實(shí)際的膠液分配過(guò)程，獲得誤差數(shù)據(jù)，結(jié)合計(jì)算機(jī)軟件靈活的程序控制，采用軟件補(bǔ)償?shù)姆椒ㄊ拐`差得到有效地控制，并通過(guò)檢測(cè)和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證這種方法非常有效，從而建立起高精度的螺桿泵膠液分配系統(tǒng)。 由于影響螺桿泵膠液分配效果的因素很多，之間的作用機(jī)理復(fù)雜，要進(jìn)行實(shí)驗(yàn)研究必須將這種多因素的影響轉(zhuǎn)化為單一因素的影響。文中通過(guò)這種實(shí)驗(yàn)的簡(jiǎn)化之后，在現(xiàn)有的膠液分配實(shí)

3、驗(yàn)條件下，針對(duì)膠液分配高度和螺桿泵擠膠時(shí)間，分別進(jìn)行了大量的實(shí)驗(yàn)研究，定量地分析了膠液分配高度和擠膠時(shí)間的變化對(duì)膠液分配尺寸和一致性的影響，從而確定要獲得預(yù)定一致性保持在≤±10％的膠液分配效果，對(duì)這些參數(shù)的設(shè)定范圍。 為了進(jìn)一步從理論上探明螺桿泵膠液擠出量，論文最后，根據(jù)實(shí)際應(yīng)用于膠液分配中的螺桿泵增壓、泵送原理，建立螺桿泵的擠膠理論模型，可方便地計(jì)算和分析螺桿泵在特定實(shí)驗(yàn)條件下的膠液擠出量；由于螺桿泵實(shí)現(xiàn)微電子封裝的膠液分配