基于TFT工藝的射頻識別標簽天線和電路技術研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、基于TFT工藝的射頻識別標簽天線和電路技術研究薄膜晶體管技術(Tbin Film Transistor:簡稱TFT)目前廣泛運用于大規(guī)模平板顯示開關陣列，它是一種不同于傳統(tǒng)的以硅為襯底的晶體管技術，具有可以在揉性襯底上制作、大規(guī)模制備和造價低廉等優(yōu)點。射頻識別(Radio Frequency Identification：簡稱RFID)技術以門禁卡、消費卡等形式廣泛應用于服務行業(yè)，目前正在以標簽形式應用于物流管理中。發(fā)展新型的RFID標

2、簽技術尤其是揉性基底的RFID標簽是本領域的熱點課題。 本論文探索將TFT技術應用于RFID電路中的可行性，研究基于TFT工藝的射頻識別標簽天線和電路技術。主要內容包括：基于無定型硅TFT工藝，運用有限元分析法，在3D電磁場仿真環(huán)境下設計出了螺旋電感式標簽天線結構，設計和仿真結果表明螺旋電感天線在空間電磁場信號的接收能力上滿足應用要求；在實驗上，基于薄膜和厚膜工藝進行了天線樣品的制備，對其靜態(tài)與動態(tài)特性進行表征，獲得天線特性參量

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