基于TFT工藝的射頻識別標簽天線和電路技術(shù)研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、基于TFT工藝的射頻識別標簽天線和電路技術(shù)研究薄膜晶體管技術(shù)(Tbin Film Transistor:簡稱TFT)目前廣泛運用于大規(guī)模平板顯示開關(guān)陣列，它是一種不同于傳統(tǒng)的以硅為襯底的晶體管技術(shù)，具有可以在揉性襯底上制作、大規(guī)模制備和造價低廉等優(yōu)點。射頻識別(Radio Frequency Identification：簡稱RFID)技術(shù)以門禁卡、消費卡等形式廣泛應(yīng)用于服務(wù)行業(yè)，目前正在以標簽形式應(yīng)用于物流管理中。發(fā)展新型的RFID標

2、簽技術(shù)尤其是揉性基底的RFID標簽是本領(lǐng)域的熱點課題。 本論文探索將TFT技術(shù)應(yīng)用于RFID電路中的可行性，研究基于TFT工藝的射頻識別標簽天線和電路技術(shù)。主要內(nèi)容包括：基于無定型硅TFT工藝，運用有限元分析法，在3D電磁場仿真環(huán)境下設(shè)計出了螺旋電感式標簽天線結(jié)構(gòu)，設(shè)計和仿真結(jié)果表明螺旋電感天線在空間電磁場信號的接收能力上滿足應(yīng)用要求；在實驗上，基于薄膜和厚膜工藝進行了天線樣品的制備，對其靜態(tài)與動態(tài)特性進行表征，獲得天線特性參量

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