半導體材料Si力學性能及點缺陷運動的分子動力學模擬.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、大連理工大學碩士學位論文半導體材料Si力學性能及點缺陷運動的分子動力學模擬姓名：溫宇申請學位級別：碩士專業(yè)：材料加工工程指導教師：姚曼王旭東20080601半導體材料Si力學性能及點缺陷運動的分子動力MoleculardynamicssimulationofmechanicalpropertiesanddefectmovementofsemiconductormaterialSiAbstract朋豫designandprediction

2、ofthecrystalstructuresandpropertiesofmaterialsaidedbycomputerscanbeachievedthroughnumericalsimulationItiSthemainresearch凡ldirectionofthecurrentmaterialfieldTherehavebeenextensiveapplicationsinmanyfieldsforthesemiconducto

3、rmaterialSiduetoitsexcellentmechanicalproperties、easygrowingthelargeandhi曲一puritycrystaletcBut，therearestillmanyunresolvedproblemsintheaspectsofmicrostructures，mechanicalpropertiesanddefectmovementduetolimitationsinresea

4、rchmethodThemechanicalpropertiesanddefectmovementofSihasbeeninvestigatedbymoleculardynamicssimulation(MD)andthecodeGULPinthisworkanditiShelpfulforfurtherunderstandingofthemicrostructureofSi。Firstlythepresentstatusandrese

5、archprogressofthesemiconductormaterialSi如eimoortanceofcomputerinmaterialdesignandthedevelopmentofcomputersimulationforSiissystematicallyreviewedMoleculardynamicssimulationandInteratomicpotentialofSiarealsoelucidatedFurth

6、ermorethecodeGULPandthemoduleofcalculationusedinthisarticlearesimplyintroducedSecondly，thecohesiveenergyandmechanicalpropertiesofSiarecalculatedusingdifferentpotentialsanddifferentparametersofpotential，thentheparameterso

7、fpotentialiSoptimized。弧eanalysisindicatesthatfordiamond—cubicSi，usingtheStillingerWeber(SW)potentialcouldobtainmorestablestructure(theminimumcohesiveenergy)andshowbetterchangeofpropertiesthanusingtheTerrsoffpotentialAnd，

8、thecohesiveenergy，latticeconstantandbuIkmodulusarealSOcalculatedbyusingthemodifiedSWparametersThenewresultiSmorereasonableandcomestobehighlyconsistentwimtheexperimentalvaluesThirdly，throughthesimulationofthevacancymoveme

9、ntalongthecrystallographyorientationsofandcrystallographyorientation，thevacancymainlymovesalongthecrystallographyorientationinSicrystalMoreover，theenergybarrier(about41eV)calculatedbyusingthemodifiedSWparametersisconsist

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