直排大氣羅茨干泵噪聲的研究.pdf

1、多級(jí)干式羅茨泵作為抽氣、清潔度俱佳的干泵之一，廣泛應(yīng)用于電子工業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜及冷凍干燥等行業(yè)。尤其隨著半導(dǎo)體工業(yè)在我國的蓬勃發(fā)展，對(duì)干泵的需求也越來越迫切。本課題所研究的五級(jí)兩葉干式羅茨真空泵，在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速，可以不接前級(jí)泵而直排大氣。本課題主要討論研究了五級(jí)兩葉干式羅茨真空泵的噪聲問題。 羅茨泵作為應(yīng)用廣泛的干泵之一，在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方面已經(jīng)達(dá)到很高的水平。但國內(nèi)廠家生產(chǎn)的各種型號(hào)的羅茨泵的噪聲值卻與國外同類產(chǎn)品

2、有著很大的差距。本文從羅茨泵噪聲產(chǎn)生的理論著手，在明確了羅茨泵的主要噪聲源之后，分別對(duì)羅茨泵的機(jī)械振動(dòng)噪聲和氣動(dòng)噪聲進(jìn)行了理論和試驗(yàn)的研究。 對(duì)于機(jī)械振動(dòng)噪聲的研究，依托丹麥B&K公司先進(jìn)的振動(dòng)噪聲測(cè)試設(shè)備，采用聲強(qiáng)測(cè)量法，對(duì)羅茨泵樣機(jī)進(jìn)行了詳細(xì)的測(cè)試。對(duì)測(cè)得數(shù)據(jù)進(jìn)行了詳細(xì)的分析之后，明確了羅茨泵樣機(jī)的各主要噪聲源，即二級(jí)、三級(jí)隔板和低級(jí)端蓋側(cè)軸承。對(duì)各主要噪聲振動(dòng)源，進(jìn)行了時(shí)間譜振和加速度譜振的測(cè)量，使用錘擊法對(duì)主要部件進(jìn)行了