基于新型三維柔性觸覺傳感器的力敏導(dǎo)電硅橡膠導(dǎo)電機(jī)理研究_第1頁
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1、合肥工業(yè)大學(xué)碩士學(xué)位論文基于新型三維柔性觸覺傳感器的力敏導(dǎo)電硅橡膠導(dǎo)電機(jī)理研究姓名：向蓓申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：微電子學(xué)與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師：黃英20090401Researchonconductivemechanismofpressure—sensitiveconductivesiliconerubberbasedonthenewthreedimensionalflexibletactileSenS0rAbstractCarbonbl

2、ackfilledconductivesiliconerubbermaterialisanewtypeofpressuresensitivematerial，hasexcellentmechanicalandelectricalproperties，goodflexibility，highresolutionItcanbeusedfortheproductionofflexibletactilesensoLItsconductiveme

3、chanismhasimportantsignificanceforfurtherresearchandpracticabilityofflexibletactilesensorThisarticlefocusesontheconductivemechanismofpressure—sensitiveconductivesiliconerubberbasedonthenewflexiblethreedimensionaltactiles

4、ensorThisarticleelaboratedonthestatusandprogressofflexibletactilesensor，conductiverubberanditsconductivemechanismThefocusofanalysisisintheconductivemechanismofpressuresensitiveconductivesiliconerubberThetwomaintheoriesof

5、theconductivitymechanismwereexplored：conductivepathwaytheoryandtheoryofelectrontunnelTwopiezoresistivemodelsweresetuprespectivelyonthebasisoftheconductivemechanismtheory；theexperimentalresultswerealsoanalyzedanddiscussed

6、Experimentalanalyzepiezoresistivecharacteristicsofconductivesiliconerubberfiliedwithdifferenttypesofcarbonblack，differentcarbonblackcontentreceivedtheapproachofimprovingtheforcesensitivityofpressuresensitivematerialnlere

7、sistancetemperaturecharacteristicofpressuresensitiveconductivesiliconerubberwasdiscussedonthetheoreticalbasisofconductivemechanismThroughfilledwithdifferenttypesmaterial，theresistancetemperaturecharacteristicexperimentso

8、fconductivecompositewereintroducedandanalyzedSomemethodstoimprovetheresistancetemperaturecharacteristicwereputforwardFinallybytheuseofmicrostructureanalysisofpressuresensitiveconductivesiliconerubbermaterial，theconductiv

9、emechanismWaSfurtherverifiedandsomefactorsoftheproductionprocessthatimpacttheelectricalpropertiesofpressure—sensitivesiliconerubberweregivenKeywords：Pressuresensitiveconductivesiliconrubber；Conductivemechanism；Piezoresis

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