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1、,,半 導(dǎo) 體 物 理第八章 半導(dǎo)體的光電性質(zhì)及光電效應(yīng),華南理工大學(xué)電子與信息學(xué)院 蔡 敏 教授,第八章 半導(dǎo)體的光電性質(zhì)及光電效應(yīng),8.1 半導(dǎo)體的光學(xué)常數(shù)8.2 半導(dǎo)體的光吸收8.3 半導(dǎo)體的光電導(dǎo),,半導(dǎo)體的光學(xué)常數(shù),一、半導(dǎo)體的光吸收系數(shù),光吸收:光子與半導(dǎo)體中的微粒子相互作用而引起的能量傳遞過(guò)程。,光衰減過(guò)程可描述為:,解得:,光強(qiáng)I:?jiǎn)挝粫r(shí)間通過(guò)單位面積的光子數(shù),即光子流密
2、度。,,物理意義:光入射到半導(dǎo)體內(nèi)被吸收,使光強(qiáng)減小到原值的1/e時(shí),光波所傳播的距離即是吸收系數(shù)的倒數(shù)。,所以,吸收系數(shù)為:,二、反射系數(shù)R和透射系數(shù)T,由電磁理論中麥克斯韋方程組可解得:,R為反射能流密度(光強(qiáng)度)與入射能流密度之比,T為透射能流密度與入射能流密度之比,由圖可知:,第八章 半導(dǎo)體的光電性質(zhì)及光電效應(yīng),8.1 半導(dǎo)體的光學(xué)常數(shù)8.2 半導(dǎo)體的光吸收8.3 半導(dǎo)體的光電導(dǎo),,一. 本征吸收,本征吸收的長(zhǎng)波限:,長(zhǎng)波限
3、關(guān)系式:,價(jià)帶電子吸收光子能量后,由價(jià)帶躍遷到導(dǎo)帶中,這種光吸收過(guò)程稱(chēng)為本征吸收。,本征吸收條件:,顯然,通過(guò)測(cè)量半導(dǎo)體材料的吸收光譜可以推算出該材料的禁帶寬度。,本征吸收引起的電子帶間躍遷必須遵守能量和動(dòng)量守恒定律。假如電子躍遷前處于k狀態(tài),能量為E,躍遷后處于k’狀態(tài),能量為E’。,由能量和動(dòng)量守恒定律可得:,通常, 光子的動(dòng)量比 小得多,所以,躍遷前后能量改變?yōu)椋?(1)直接躍遷,躍遷前后動(dòng)量沒(méi)有改變:,(2
4、)間接躍遷,躍遷前后能量改變?yōu)椋?躍遷前后動(dòng)量改變?yōu)椋?,,一個(gè)電子只吸收一個(gè)光子,不與晶格交換能量。,二. 其他吸收過(guò)程,(1)激子吸收,電子和空穴互相束縛形成一個(gè)新的電中性系統(tǒng)。,特點(diǎn):,*,* 激子能在晶體中運(yùn)動(dòng)。,* 激子消失形式:分離;復(fù)合,* 激子是電中性的。,(2)自由載流子吸收,(3)雜質(zhì)吸收,(4)晶格吸收,電子在導(dǎo)帶中不同能級(jí)間的躍遷,或空穴在價(jià)帶中不同能級(jí)間的躍遷。,雜質(zhì)能級(jí)上的電子(或空穴)吸收光子躍遷到導(dǎo)帶(或
5、價(jià)帶)能級(jí)中,稱(chēng)為雜質(zhì)吸收。,所以吸收的長(zhǎng)波限為:,光子能量直接轉(zhuǎn)換為晶格振動(dòng)能。,第八章 半導(dǎo)體的光電性質(zhì)及光電效應(yīng),8.1 半導(dǎo)體的光學(xué)常數(shù)8.2 半導(dǎo)體的光吸收8.3 半導(dǎo)體的光電導(dǎo),,半導(dǎo)體的光電導(dǎo),一. 光電導(dǎo)的描述,暗電導(dǎo)率:,設(shè)光注入的附加載流子濃度分別為: 和,半導(dǎo)體電導(dǎo)率為:,由光照使半導(dǎo)體產(chǎn)生電子或空穴,引起半導(dǎo)體的電導(dǎo)率增加的現(xiàn)象稱(chēng)光電導(dǎo)。,附加光電導(dǎo)為:,實(shí)驗(yàn)證明,本征附加光電導(dǎo)往往是由其中一種光生載流
6、子(非平衡多子)起決定性作用。這是因?yàn)榉瞧胶舛嘧佑休^長(zhǎng)的自由存在時(shí)間,而非平衡少子往往被深雜質(zhì)能級(jí)陷阱住。,因此,對(duì)p型半導(dǎo)體有:,對(duì)n型半導(dǎo)體有:,附加光電導(dǎo)表示為:,附加光電導(dǎo)表示為:,注:光照引起雜質(zhì)能級(jí)上的電子或空穴受激電離也會(huì)產(chǎn)生附加光電導(dǎo),但相對(duì)微弱。,二. 定態(tài)光電導(dǎo)及其弛豫過(guò)程,(1)直線(xiàn)性光電導(dǎo) (小注入-- 是定值),無(wú)外場(chǎng)作用時(shí),光照下光生非平衡載流子濃度隨時(shí)間的變化率應(yīng)等于其產(chǎn)生率減去其復(fù)合率.,對(duì)非平衡電
7、子:,由初始條件t=0, ,方程的特解為:,定態(tài)光電導(dǎo):穩(wěn)定光照下半導(dǎo)體所達(dá)到的穩(wěn)定光電導(dǎo).,當(dāng) 時(shí),光生載流子達(dá)到穩(wěn)定值,同理:,光照穩(wěn)定狀態(tài)下的定態(tài)光電導(dǎo)為:,這就是光照開(kāi)始到穩(wěn)態(tài),光生載流子的變化曲線(xiàn)。,假設(shè),光電導(dǎo)上升過(guò)程的函數(shù)表示式為:,直線(xiàn)性光電導(dǎo):小注入時(shí),定態(tài)光電導(dǎo)與光強(qiáng)成線(xiàn)性關(guān)系。,光電導(dǎo)的馳豫現(xiàn)象:光照下光電導(dǎo)率逐漸上升和光照停上后光電導(dǎo)率逐漸下降的現(xiàn)象。,利用初始條件: t=0,
8、 ;可解得光生載流子濃度變化表示式為:,光照停止后非平衡載流子產(chǎn)生率為零,非平衡載流子的變化過(guò)程可描述為:,同理可得到光電導(dǎo)變化過(guò)程的表達(dá)式:,(2)拋物線(xiàn)性光電導(dǎo) ( 強(qiáng)注入-- 不是定值 ),不考慮復(fù)合中心和陷阱的情況下,非平衡載流子(電子)只有直接復(fù)合,其復(fù)合率為:,在強(qiáng)注入下,光生載流子的變化符合下述方程:,(上升過(guò)程),當(dāng)小注入時(shí),復(fù)合率與非平衡載流子的濃度成正比,稱(chēng)為單分子復(fù)合過(guò)程。
9、 當(dāng)強(qiáng)注入時(shí),復(fù)合率與非平衡載流子的濃度的平方成正比,稱(chēng)為雙分子復(fù)合過(guò)程。,利用初始條件:上升時(shí):t=0 , ; 下降時(shí):t=0 , 。,上升過(guò)程和下降過(guò)程的解分別為:,(上升過(guò)程),(下降過(guò)程),(下降過(guò)程),對(duì)于上升過(guò)程的解,當(dāng) 時(shí),非平衡載流子注入穩(wěn)定,其濃度定態(tài)值為:,同理:,定態(tài)光電導(dǎo)可表示為:,拋物線(xiàn)性光電導(dǎo):在強(qiáng)注入的條件下,半導(dǎo)體的定態(tài)光電導(dǎo)
10、與光強(qiáng)的平方根成正比。,(3)光電導(dǎo)靈敏度及光電導(dǎo)增益,光電導(dǎo)靈敏度:?jiǎn)挝还庹斩人鸬墓怆妼?dǎo),由,知, 越大(弛豫時(shí)間越長(zhǎng)),則靈敏度越高。,但弛豫時(shí)間越長(zhǎng),則代表對(duì)光信號(hào)的響應(yīng)就慢,實(shí)際應(yīng)用必須兩者兼顧。,對(duì)光敏電阻來(lái)說(shuō),其結(jié)構(gòu)不同,產(chǎn)生不同的光電導(dǎo)效果。通常用光電導(dǎo)增益因子 表示光電導(dǎo)效應(yīng)的增強(qiáng)。,對(duì)于電極間距為l,渡越時(shí)間:,所以,,光電導(dǎo)光譜分布決定因素:,三. 本征光電導(dǎo)的光譜分布,(1)半導(dǎo)體材料對(duì)不同的光波長(zhǎng)的
11、吸收系數(shù);,(2)光被吸收后激發(fā)光生非平衡載流子的激 發(fā)率,即量子產(chǎn)額;,(3)光生載流子的激發(fā)對(duì)其壽命的影響,其中與吸收波長(zhǎng)發(fā)生直接影響的就是吸收系數(shù)。,光電導(dǎo)的光譜分布是指半導(dǎo)體材料的定態(tài)光電導(dǎo)隨入射光波長(zhǎng)的變化關(guān)系。它表征半導(dǎo)體光電材料的一個(gè)重要特性。,幾種半導(dǎo)體材料本征光電導(dǎo)光譜分布,等量子:對(duì)不同波長(zhǎng)的光子,在單位時(shí)間單位面積入射的光子數(shù)相同。,等能量:對(duì)不同波長(zhǎng)的光子,在單位時(shí)間單位面積入射光子的總能量相等。,光電導(dǎo)光譜分布
12、的特點(diǎn):,(1)均在長(zhǎng)波方面存在著光電導(dǎo)隨波長(zhǎng)迅速下降的現(xiàn)象同,這意味著本征吸收開(kāi)始。曲線(xiàn)下降到一半時(shí)對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)為長(zhǎng)波以限。,(2)從長(zhǎng)波限過(guò)渡到短波方面,光電導(dǎo)存在極大值甚至可能出現(xiàn)很突出的尖峰,隨后又隨光波長(zhǎng)的減少,光電導(dǎo)略有下降。,(3)不同的半導(dǎo)體材料由于禁帶寬度不同,本征光電導(dǎo)的光譜分布在不同的波長(zhǎng)范圍里。,四. 復(fù)合中心和陷阱對(duì)光電導(dǎo)的影響,(1)高阻光電材料中典型的復(fù)合中心對(duì)光電導(dǎo)的影響。,假設(shè)復(fù)合中心被陷的非平衡空穴
13、濃度為:,由5.3解的間接復(fù)合理論,得到非平衡電子的復(fù)合率為:,強(qiáng)注入時(shí),因?yàn)?,非平衡電子復(fù)合率 ,遵循雙分子復(fù)合過(guò)程。,極強(qiáng)注入, ,非平衡電子和非平衡空穴的復(fù)合率分別為:,小注入時(shí),因?yàn)?,非平衡電子復(fù)合率 ,遵循單分子復(fù)合過(guò)程。,可見(jiàn),,和,非平衡電子和非平衡空穴都分別遵循
14、單分子復(fù)合過(guò)程,,,,(2)復(fù)合中心和多數(shù)載流子陷阱的綜合作用對(duì)光電導(dǎo)的影響。,(a)如果同時(shí)存在多數(shù)載流子陷阱,陷阱效應(yīng)對(duì)半導(dǎo)體光電導(dǎo)的弛豫時(shí)間有決定性的影響,延長(zhǎng)了光電導(dǎo)的上升和下降的弛豫時(shí)間,并且可使兩者很不相同。,(b)如果同時(shí)存在多數(shù)載流子陷阱,可以使得在較強(qiáng)注入時(shí)也呈直線(xiàn)性的光電導(dǎo)。,(c)如果同時(shí)存在多數(shù)載流子陷阱,多數(shù)載流子陷阱有降低定態(tài)光電導(dǎo)的靈敏度的作用。,(3)復(fù)合中心和少數(shù)載流子陷阱的綜合作用對(duì)光電導(dǎo)的影響。
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