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文檔簡介
1、這里有一份銅線和金線的詳細試驗結果與分析1引言絲球焊是引線鍵合中最具代表性的焊接技術,它是在一定的溫度下,作用鍵合工具劈刀的壓力,并加載超聲振動,將引線一端鍵合在IC芯片的金屬法層上,另一端鍵合到引線框架上或PCB便的焊盤上,實現芯片內部電路與外圍電路的電連接,由于絲球焊操作方便、靈活、而且焊點牢固,壓點面積大(為金屬絲直徑的2.5-3倍),又無方向性,故可實現高速自動化焊接[1]。絲球焊廣泛采用金引線,金絲具有電導率大、耐腐蝕、韌性好
2、等優(yōu)點,廣泛應用于集成電路,鋁絲由于存在形球非常困難等問題,只能采用楔鍵合,主要應用在功率器件、微波器件和光電器件,隨著高密度封裝的發(fā)展,金絲球焊的缺點將日益突出,同時微電子行業(yè)為降低成本、提高可靠性,必將尋求工藝性能好、價格低廉的金屬材料來代替價格昂貴的金,眾多研究結果表明銅是金的最佳替代品[2-6]。銅絲球焊具有很多優(yōu)勢:(1)價格優(yōu)勢:引線鍵合中使用的各種規(guī)格的銅絲,其成本只有金絲的13-110。(2)電學性能和熱學性能:銅的電導
3、率為0.62(μΩcm)-1,比金的電導率[0.42(μΩcm)-1]大,同時銅的熱導率也高于金,因此在直徑相同的條件下銅絲可以承載更大電流,使得銅引線不僅用于功率器件中,也應用于更小直徑引線以適應高密度集成電路封裝;(3)機械性能:銅引線相對金引線的高剛度使得其更適合細小引線鍵合;(4)焊點金屬間化合物:對于金引線鍵合到鋁金屬化焊盤,對界面組織的顯微結構及界面氧化過程研究較多,其中最讓人們關心的是“紫斑“(AuAl2)和“白斑“(Au
4、2Al)問題,并且因Au和Al兩種元素的擴散速率不同,導致界面處形成柯肯德爾孔洞以及裂紋。降低了焊點力學性能和電學性能[7,8],對于銅引線鍵合到鋁金屬化焊盤,研究的相對較少,Hyoung-JoonKim等人[9]認為在同等條件下,CuAl界面的金屬間化合物生長速度比AuAl界面的慢10倍,因此,銅絲球焊焊點的可靠性要高于金絲球焊焊點。1992年8月,美國國家半導體公司開始將銅絲球焊技術正式運用在實際生產中去,但目前銅絲球焊所占引線鍵合
5、的比例依然很少,主要是因此銅絲球焊技術面臨著一些難點:(1)銅容易被氧化,鍵合工藝不穩(wěn)定,(2)銅的硬度、屈服強度等物理參數高于金和鋁。鍵合時需要施加更大的超聲能量和鍵合壓力,因此容易對硅芯片造成損傷甚至是破壞。本文采用熱壓超聲鍵合的方法,分別實現Au引線和Cu引線鍵合到Al1%Si0.5%Cu金屬化焊盤,對比考察兩種焊點在200℃老化過程中的界面組織演變情況,焊點力學性能變化規(guī)律,焊點剪切失效模式和拉伸失效模式,分析了焊點不同失效模式
6、產生的原因及其和力學性能的相關關系。2試驗材料及方法鍵合設備采用K&S公司生產的NuTek絲球焊機,超聲頻率為120m赫茲,銅絲球焊時,增加了一套CopperKit防氧化保護裝置,為燒球過程和鍵合過程提供可靠的還原性氣體保護(95%N25%H2),芯片焊盤為Al+1%Si+0.5%Cu金屬化層,厚度為3μm。引線性能如表1所示。球焊點,但此時金球焊點內部出現大量Kirkendall空洞及裂紋,導致其電氣性能急劇下降,而銅球焊點沒有出現空
7、洞及裂紋,其電氣性能較好。對于金球焊點,剪切實驗共發(fā)現了5種失效模式:完全剝離(沿球與鋁層界面剝離)、金球殘留、鋁層斷裂、球內斷裂和彈坑,圖5顯示了金球焊點剪切失效模式隨老化時間的變化,未老化時,AuAl為還沒有形成金屬間化合物,剪切失效模式為完全剝離,由于AuAl老化過程中很快生成金屬間化合物,失效模式在老化初期馬上發(fā)展為以鋁層剝離為主:隨后,鋁層消耗完畢,老化中期失效模式以金球殘留為主,此時斷裂發(fā)生在金屬間化合物與金球界面;老化10
8、0天以后金球內部斷裂急劇增加,成為主要失效模式,導致剪切斷裂載荷降低。對于銅球焊點,剪切實驗共發(fā)現了4種失效模式:完全剝離、銅球殘留、鋁層斷裂和彈坑。圖6顯示了銅球焊點剪切失效模式隨老化時間的變化,由于銅球焊點200℃時生成金屬間化合物很慢,因此其剪切失效模式在老化較長時間內以完全剝離為主:彈坑隨老化進行逐漸增多,尤其老化81天后,應力型彈坑大量增加,導致剪切斷裂載荷下降,圖7所示為彈坑數量隨老化時間變化,需要說明的是彈坑包括應力型彈坑
9、和剪切性彈坑,應力型彈坑為剪切實驗之前就已經存在的缺陷,而剪切型彈坑是由于接頭連接強度高,在剪切實驗過程中產生,因此只有應力型彈坑是導致剪切斷裂載荷下降的原因,相對金球焊點,銅球焊點剪切出現彈坑較多,主要是因為銅絲球焊鍵合壓力比金絲球焊大。2.3金、銅絲球焊拉伸斷裂載荷和失效模式圖8顯示了金、銅絲球焊拉伸斷裂載荷隨老化時間的變化,金絲球焊拉伸斷裂載荷隨老化時間變化不大,拉伸斷裂模式以第一焊點和中間引線斷裂為主。銅絲球焊拉伸斷裂載荷隨老化
10、時間不斷下降,由于銅的塑性比金差,而且銅絲球焊第二焊點鍵合壓力比金絲球焊大很多,因此銅絲球焊第二焊點比金絲球焊變形損傷大,銅絲球焊拉伸時容易發(fā)生第二焊點斷裂,第二焊點斷裂又分為魚尾處斷裂(根部斷裂)和焊點剝離(引線和焊盤界面剝離),如圖9所示,銅絲球焊拉伸在老化初期為魚尾處斷裂,老化16天以后焊點剝離逐漸增多,主要是因為銅絲球焊老化過程中第二焊點被氧化,從而也導致拉伸斷裂載荷下降。4結論(1)銅絲球焊焊點的金屬間化合物生長速率比金絲球焊
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