真空泵術(shù)語

1、真空泵術(shù)語真空泵產(chǎn)生、改善和（或）維持真空的裝置?；旧戏譃闅怏w傳輸泵和氣體捕集泵兩種類型。氣體氣體傳輸泵傳輸泵：1、變?nèi)菡婵毡米內(nèi)菡婵毡檬抢帽们蝗莘e的周期變化來完成吸氣和排氣的裝置。氣體在排出前被壓縮。2、氣鎮(zhèn)真空泵泵工作中，經(jīng)氣鎮(zhèn)閥放入適量的非可凝性氣體到泵的壓縮室，以降低被抽氣體中可凝性蒸汽在泵內(nèi)凝結(jié)程度的變?nèi)菡婵毡谩?、油封（液封）真空泵利用油類密封各運動部件的間隙和減少壓縮室有害空間的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡谩?、干封真空泵不用油類（

2、或液體）密封的變?nèi)菡婵毡谩?、往復(fù)真空泵利用泵腔內(nèi)活塞往復(fù)運動，將氣體壓縮并排出的變?nèi)菡婵毡谩?、液環(huán)真空泵帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)，當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時，把液體（通常為水）拋向泵殼并形成與泵同心的液環(huán)，液環(huán)同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變化的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡谩?、旋片真空泵轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)并同泵殼內(nèi)表面固定面向切，在轉(zhuǎn)子內(nèi)裝有二個（或二個以上）旋片，當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時滑片能沿其徑向槽往復(fù)滑動且與泵殼內(nèi)壁始終接觸，將泵腔分成幾個可變?nèi)莘e的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡?/p>

3、。8、定片真空泵在泵殼內(nèi)裝有一個與泵殼內(nèi)壁相接觸的偏心轉(zhuǎn)子，泵殼上裝有一片始終與轉(zhuǎn)子表面接觸的徑向滑片，當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，滑片上、下滑動將泵腔分成兩個可變?nèi)莘e的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵铡?●泵。18、氣體噴射真空泵以非可凝性氣體作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。19、蒸汽噴射真空泵以蒸汽（水、油、汞等蒸汽）作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。20、擴散泵以低壓高速蒸汽流（油或汞等蒸汽）作為工作介質(zhì)的氣體動量傳輸泵。氣體分子擴散到蒸汽射流中被送到出口。在射流中氣體分子密度

4、始終是低的。這種泵適于分子流條件下工作。21、擴散噴射泵有擴散泵特性的單級或多級噴嘴和具有噴射泵特性的單級或多級噴嘴組成的動量傳輸泵。氣體捕集氣體捕集泵：1、捕集真空泵氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵內(nèi)表面上的真空泵。2、吸附泵主要用具有大表面的吸附劑（如：多孔物質(zhì)）的物理吸附作用來抽氣的捕集真空泵。3、吸氣劑泵用吸氣劑以化學(xué)結(jié)合方式捕獲氣體的捕集真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。4、升華（蒸發(fā)）泵一種用間斷或連續(xù)方