腐蝕工藝

1、浙江昱輝陽光能源有限公司浙江昱輝陽光能源有限公司文件編號：Q03JS15版本號：A1頁碼：第1頁共3頁腐蝕車間操作規(guī)范腐蝕車間操作規(guī)范生效日期：2008年9月1日一、目的一、目的為明確作業(yè)程序，提高作業(yè)效率，保障作業(yè)安全，特制定本規(guī)范。二、適用范圍二、適用范圍適用于腐蝕車間對應的工序操作崗位。三、主要內容三、主要內容1、注意事項：注意事項：作業(yè)前應按規(guī)定穿防酸堿服、戴防酸堿手套和護目鏡，作業(yè)時應特別注意人身安全。2、硅片去層作業(yè)：硅片去

2、層作業(yè)：1、堿洗去層：在反應容器中配制2040%的氫氧化鈉溶液為腐蝕溶液，將硅片加入堿鍋里進行腐蝕，根據(jù)硅片的結深確定腐蝕時間，一般為30120秒。用漏勺撈起看硅料表面是否光亮無雜質。2、沖洗殘堿：在沖洗槽中將硅片上附著的殘堿沖洗干凈。3、超聲波超洗：①、在超聲波內注入足量純凈水以能夠淹沒硅片為準。②、將10－15千克的硅片用純凈水沖凈，倒入清洗槽內，打開超聲機清洗開關，每10分鐘將硅片全部翻動一次，以免疊片時夾雜雜質，無法清洗出來。清

3、洗20分鐘換兩次水后關閉超聲清洗開關，將槽內清洗水放盡。③、用高純水再超兩次（每次10分鐘），每3分鐘將硅片翻動一次，最后關閉超聲波開關，放盡清洗水，翻動硅片，將雜質和殘留硅片上的清洗水沖盡。④、氫氟酸浸泡：在浸泡池中配置15%～25%的氫氟酸溶液，將硅片放入浸泡池內浸泡56分鐘，并攪拌硅片避免疊片。或用1：15－20的混酸進行清洗30S左右。⑤、沖洗殘酸：在沖洗槽中將硅片殘酸沖洗干凈。批準審核編制修改履歷頁碼內容狀態(tài)備注浙江昱輝陽光能

4、源有限公司浙江昱輝陽光能源有限公司文件編號：Q03JS15版本號：A1頁碼：第3頁共3頁腐蝕車間操作規(guī)范腐蝕車間操作規(guī)范生效日期：2008年9月1日據(jù)實際情況有具體規(guī)定），將槽內清洗水放盡，再用高純水沖洗硅塊，將殘留雜質沖凈。B、用高純水再超兩次（每次10分鐘），每3分鐘將硅塊翻動一次，最后關閉超聲波開關，放盡清洗水，用高純水沖洗硅塊，將殘留雜質沖凈。6、沖洗：將硅塊放入沖洗槽中沖洗并攪拌。7、烘干：將硅塊放入烘籃中，堆積厚度不超過15