北京航空航天大學(xué)機(jī)械工程及自動(dòng)化學(xué)院多材料等離子體刻蝕機(jī)（重招）采購(gòu)文件

1、中鋼招標(biāo)有限責(zé)任公司中鋼招標(biāo)有限責(zé)任公司政府采購(gòu)項(xiàng)目采購(gòu)文件政府采購(gòu)項(xiàng)目采購(gòu)文件項(xiàng)目名稱：北京航空航天大學(xué)機(jī)械工程及自動(dòng)化學(xué)院多材料等離子體刻蝕機(jī)（重招）采購(gòu)編號(hào)：1841STC50380采購(gòu)人：北京航空航天大學(xué)機(jī)械工程及自動(dòng)化學(xué)院代理機(jī)構(gòu)：中鋼招標(biāo)有限責(zé)任公司中鋼招標(biāo)有限責(zé)任公司2第一章響應(yīng)邀請(qǐng)中鋼招標(biāo)有限責(zé)任公司接受北京航空航天大學(xué)機(jī)械工程及自動(dòng)化學(xué)院的委托，對(duì)下述采購(gòu)內(nèi)容進(jìn)行國(guó)內(nèi)采購(gòu)，現(xiàn)邀請(qǐng)合格的響應(yīng)人前來(lái)響應(yīng)。1.項(xiàng)目名稱：北京

2、航空航天大學(xué)機(jī)械工程及自動(dòng)化學(xué)院多材料等離子體刻蝕機(jī)（重招）2.采購(gòu)編號(hào)：1841STC503803.資金來(lái)源：已落實(shí)4.采購(gòu)預(yù)算：48萬(wàn)元（最高限價(jià)：__萬(wàn)元）5.項(xiàng)目用途：教學(xué)6.項(xiàng)目基本概況介紹：包號(hào)采購(gòu)內(nèi)容數(shù)量交貨期交貨地點(diǎn)采購(gòu)需求01多材料等離子體刻蝕機(jī)1套合同簽訂后3個(gè)月內(nèi)完成安裝調(diào)試并通過(guò)驗(yàn)收。北京，北京航空航天大學(xué)指定地點(diǎn)1)ICP等離子體刻蝕設(shè)備，用于4英寸及以下樣品尺寸2)適用于硅基材料的刻蝕工藝，Si刻蝕速率450

3、nmmin3)樣品取放通過(guò)LoadLock真空腔室進(jìn)行，樣片自動(dòng)在Loadlock腔與工藝腔之間進(jìn)行傳送，采用矩形門閥作為雙腔之間隔斷閥4)工藝腔與LoadLock均為一體成型鋁腔5)工藝的執(zhí)行為自動(dòng)化流程6)設(shè)備控制系統(tǒng)具有異常警報(bào)與處理模塊，具有用戶登錄與用戶權(quán)限分級(jí)管理模塊，具有工藝數(shù)據(jù)記錄與機(jī)臺(tái)狀態(tài)記錄某塊，具有工藝菜單編輯與修改模塊7)人機(jī)交互界面為工業(yè)觸摸屏8)設(shè)備具備硬件可配置調(diào)節(jié)偏置電壓的功能9)標(biāo)配四路進(jìn)氣等具體詳見第