silvaco操作指南

1、1第二篇第二篇半導(dǎo)體工藝及器件仿真軟件半導(dǎo)體工藝及器件仿真軟件Silvaco操作指南操作指南主要介紹了半導(dǎo)體器件及工藝仿真軟件Silvaco的基本使用。書中通過(guò)例程引導(dǎo)學(xué)習(xí)工藝仿真模塊Athena和器件仿真模塊Atlas，通過(guò)這兩部分的學(xué)習(xí)可以使學(xué)習(xí)人員深入了解半導(dǎo)體物理的基本知識(shí)，半導(dǎo)體工藝的流程，以及晶體管原理的基本原理，設(shè)計(jì)過(guò)程，器件的特性。對(duì)于學(xué)習(xí)集成電路的制備及后道工序有一定的幫助。第一章SILVACO軟件介紹........

2、..............................................................25251.1程序啟動(dòng).....................................................251.2選擇一個(gè)應(yīng)用程序例子.........................................261.3工藝模擬.............................

3、........................281.3.1運(yùn)行一次模擬.............................................281.3.2漸進(jìn)學(xué)習(xí)模擬.............................................281.3.3繪制結(jié)構(gòu).................................................281.3.4使用Tonyplot進(jìn)行繪

4、圖....................................291.3.5修正繪圖的外觀...........................................291.3.6縮放及在圖上進(jìn)行平移.....................................301.3.7打印圖形.................................................311.4使用HISTY

5、功能..............................................311.5明確存貯狀態(tài).................................................321.6創(chuàng)建用于比較的兩個(gè)結(jié)構(gòu)文件...................................321.6.1存貯文件創(chuàng)建.............................................3

6、21.6.2文件交疊................................................331.7運(yùn)行MOS工藝程序的第二部分...................................351.7.1`StopAt功能...........................................351.7.2使用Tonyplot用于2D結(jié)構(gòu)..........................

7、......361.7.3使用Tonyplot來(lái)制備一輪廓圖..............................371.7.4產(chǎn)生交互式圖例...........................................381.8工藝參數(shù)的抽取...............................................391.8.1源漏結(jié)深.................................

8、................401.8.2器件閾值電壓.............................................401.8.3電導(dǎo)及偏壓曲線...........................................401.8.4一些薄層電阻.............................................421.8.5溝道表面摻雜濃度................

9、.........................421.9器件模擬.....................................................44第二篇第二篇SilvacoSilvaco軟件使用指南軟件使用指南第一章第一章SilvacoSilvaco軟件介紹軟件介紹本章將介紹下面兩個(gè)VWF（虛擬wafer制備）交互工具的基本使用：?Deckbuild：VWF運(yùn)行時(shí)控制應(yīng)用程序。這是唯一一個(gè)從系統(tǒng)命令行由用

10、戶啟動(dòng)的程序。?Tonyplot：VWF可視化應(yīng)用程序。VWF交互工具還包括版圖到工藝的界面程序MaskViews器件原型及編輯程序DevEdit局部?jī)?yōu)化程序Optimizer以及統(tǒng)計(jì)分析的SPAYN工具。但本章不介紹這部分內(nèi)容。VWF核心工具是以下兩個(gè)仿真器：?AthenaSilvaco的高級(jí)一維和二維工藝仿真器。?AtlasSilvaco的通用及標(biāo)準(zhǔn)組件的一，二，三級(jí)器件仿真器。VWF核心工具還包括器件特性的UTMOS應(yīng)用及Smar

11、tSpice電路仿真。本章將學(xué)習(xí)：1.使用Athena進(jìn)行一個(gè)簡(jiǎn)單LDDMOS器件仿真和相關(guān)參數(shù)的抽取(如柵氧化層厚)。2.使用Atlas進(jìn)行LDDMOS器件仿真，產(chǎn)生一個(gè)IdVgs曲線并從這條曲線中進(jìn)行器件參數(shù)VtBeta和Theta的抽取。1.1程序啟動(dòng)程序啟動(dòng)要啟動(dòng)Deckbuild程序，在系統(tǒng)命令行中輸入deckbuild&幾秒鐘后Deckbuild窗口顯示出來(lái)。在Deckbuild啟動(dòng)后，你會(huì)看到如下的窗口(版本及目錄名可能不