【8a版】iso14644-3檢測(cè)方法

1、【MeiWei81優(yōu)質(zhì)實(shí)用版文檔】【MeiWei81優(yōu)質(zhì)實(shí)用版文檔】潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境——第3部分：…..檢測(cè)方法潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第3部分：檢測(cè)方法部分：檢測(cè)方法目次前言引言1范圍2引用標(biāo)準(zhǔn)3術(shù)語(yǔ)與定義3.1概述3.2空氣懸浮粒子測(cè)量3.3空氣過濾器與系統(tǒng)3.4氣流3.5靜電測(cè)量3.6測(cè)量?jī)x器與測(cè)量條件ISO146443第一版20XX1215ReferencenumberISO146443:20XX(E)國(guó)際標(biāo)

2、準(zhǔn)INTERNATIONALSTARDCopyrightInternationalganizationfStardizationProvidedbyIHSunderlicensewithISONoreproductionwkingpermittedwithoutlicensefromIHS【MeiWei81優(yōu)質(zhì)實(shí)用版文檔】【MeiWei81優(yōu)質(zhì)實(shí)用版文檔】引言潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境須將空氣懸浮粒子控制在合適的水平，以完成相關(guān)的、對(duì)污染敏感

3、的活動(dòng)。下述行業(yè)的產(chǎn)品和工藝均受益于對(duì)空氣懸浮污染物的控制：航天、微電子、制藥、醫(yī)療器械、食品和醫(yī)療。本部分ISO14644說明的檢測(cè)方法，可用于說明ISO14644其它部分中所述的潔凈室的特性。注：本部分ISO14644并未包括所有潔凈室參數(shù)的檢測(cè)方法。ISOTC209編制的其他文件中討論了有特定產(chǎn)品或工藝的潔凈室和潔凈區(qū)的其他參數(shù)進(jìn)行檢測(cè)時(shí)所使用的方法和儀器（例如ISO14698中對(duì)活物質(zhì)的控制和測(cè)量方法，ISO146444中的潔凈

4、室功能性檢測(cè)，ISO146447中的隔離裝置檢測(cè)）。此外還可以考慮其他的適用標(biāo)準(zhǔn)。本部分ISO14644中的陳述參照了ASTM，CEN，DIN，IEST，JACA，JIS和SEMI等標(biāo)準(zhǔn)。潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第3部分：檢測(cè)方法部分：檢測(cè)方法注意–本部分ISO14644的應(yīng)用可能涉及有害的材料、作業(yè)和設(shè)備。本部分ISO14644未提及所有與其使用有關(guān)的安全性問題。因此，使用本標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，客戶應(yīng)負(fù)責(zé)制定適當(dāng)?shù)陌踩托l(wèi)生準(zhǔn)則，

5、及在使用前確定規(guī)程性限制的適用性。1范圍本部分ISO14644規(guī)定了指定級(jí)別的空氣懸浮微粒潔凈度的檢測(cè)方法和測(cè)定潔凈室和潔凈區(qū)性能特性的檢測(cè)方法。這種特性檢測(cè)可用在3種狀態(tài)（空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)）下的、單向流和非單向流這兩種類型的潔凈室和潔凈區(qū)。檢測(cè)方法中有檢測(cè)儀器和檢測(cè)方法方面的建議。如果潔凈室和潔凈區(qū)的類型影響到檢測(cè)方法，則有其他檢測(cè)方法的建議。其中的某些檢測(cè)，則建議了幾種不同的方法和儀器，以便適合于不同的最終使用要求。如果客戶與建造商

6、一致同意的話，可以使用本部分的ISO14644中未包括的方法。替代方法不一定會(huì)提供等效的測(cè)量結(jié)果。本部分ISO14644不適用對(duì)潔凈室或隔離裝置內(nèi)產(chǎn)品或工藝進(jìn)行的測(cè)量。2引用標(biāo)準(zhǔn)下列引用標(biāo)準(zhǔn)對(duì)本文件的使用是不可或缺的。標(biāo)有日期的引用標(biāo)準(zhǔn)，只有該引用的版本適用。沒標(biāo)有日期的引用標(biāo)準(zhǔn)，則其最新版本的規(guī)范性文件（包括任何修正版）適用。ISO7726:1998，熱環(huán)境人機(jī)工程學(xué)物理量測(cè)量?jī)xISO146441:1999，潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第1部