電弧離子鍍氮化鈦、氮化鉻薄膜制備及特性研究

1、西南大學(xué)碩士學(xué)位論文電弧離子鍍氮化鈦、氮化鉻薄膜制備及特性研究姓名：謝紅梅申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專業(yè)：材料物理與化學(xué)指導(dǎo)教師：聶朝胤20090501兩南人學(xué)碩二仁學(xué)伊論文 A b s t r a c tS t u d y o nP r e p a r a t i o n a n d P r o p e r t i e so f T i N 、C r N x F i l m sB y A r c I o nP l a t i n gP o s

2、 t g r a d u a t eo f m a t e r i a l sp h y s i c sa n d c h e m i s t r y ：H o n g m e iX i eA d v i s o r s ：P r o f ．C h a o y i n N i eA b s t r a c tT r a n s i t i o nm e t a l n i t r i d ec l u s t e r h a v ed

3、e v e l o p e d r a p i d l yi nt h el a s tt w e n t yd e c a d e s ．T i N f i l mw a s t h ee a r l i e s th o m i e s sf i l m ，a n dt h es e c o n do n ew a s C r N x f i l m ．D u et o t h e i re x c e l l e n t p r

4、o p e r t i e s ，s u c ha st h e i rh i 曲h a r d n e s s ，w e a r - r e s i s t i n g ，c h e m i c a li n e r t n e s sw i t hc o r r o s i v er e s i s t a n c e a n dt h e r m a l s t a b i l i t y ．T i N f i l m s a n

5、 d C r N x f i l m sh a v e f o u n ds e v e r a li m p o r t a n ta p p l i c a t i o n si nc u t t i n gt o o l s ，d i em o l d ，d e c o r a t i o n ，m i c r o e l e c t r o n i c s ，b i o t e c h n o l o g y f i e l d

6、a n d S Oo n ．F o rt h i s s t u d y , T i Nf i l m s a n dC r N xf i l m s w e r ep r e p a r e db yA r cI o nP l a t i n gm e t h o d o n s t a i n l e s ss t e e l a n d 4 5s t e e ls u b s t r a t e s ．M i c r o —h a

7、 r d n e s s ，s u r f a c er o u g h n e s sa n da d e h e s i o ns t r e n g t ho fT i Nf i l m sw e r ec o m p a r e dw i t ht h o s eo fC r N xf i l m s ．E f f e c to fp a r a m e t e r i n c l u d i n gv e l o c i t

8、y , l o a da n dC o u n t e r p a r t o nt r i b o l o g i c a lp r o p e r t i e so fT i Nf i l m sa n d C r N xf i l m s ．T h e w e a r r e s i s t a n c eo f T i N f i l m sa n d C r N x f i l m sw e r es t u d i e d

9、i nd i f f e r e n t t r i b o l o g i c a lc o n d i t i o n s ( i nd r y ．w a t e r a n d o i ll u b r i c a t e d ) b y t h e b a l l —習(xí)i s kw e a rt e s t e r ．T h er e s u l t s s h o w e d t h a t t r i b o l o g i

10、 c a l p r o p e r t i e s o f T i Nf i l m s w e r e e f f e c t e do b v i o u s l y b yt h ef r i c t i o n v e l o c i t y , l o a da n d C o u n t e r p a r t ．B u tt h et r i b o l o g i c a lp r o p e r t i e so f

11、 C r N xf i l m sw e r e l i t t l ee f f e c t e db yc o u r t e r p a r t ．I t w a s v e r i f i e dt h a tT i N f i l m sp r e s e n ta b r a s i v e p x i d i z e d w e a r u n d e r d r y f r i c t i o n ，f a t i g

12、u e w e a r w i t h w a t e r s b o u n d e r yl u b r i c a t i o nu n d e r w a t e r l u b r i c a t i n g c o n d i t i o n a n d a l m o s t n ow e a r b e c a u s e o f o i l ’s f l u i d i cl u b r i c a b i l i t

13、 y u n d e r o i ll u b r i c a t i n g c o n d i t i o n ．T r i b o l o g i c a l m e c h a n i s m o f C r N xf i l m sw e r ea b r a s i o ni nd r y 、c o r r o s i o ni nw a t e r a n d l i t t l ew e a ri no i l ．b o

14、 t ht h eg r i n d i n gc r a c kd e p t ha n df r i c t i o nc o e m c i e n to fT i Nf i l m s a n dC r N x f i l m s c l e a r l yt e n dt o d e c r e a s eu n d e rw a t e r ／o i l l u b r i c a t i n g c o n d i t i

15、 o n s i n c o m p a r i s o nu n d e r d r y f r i c t i o n ．B u t C r N x f i l m sp o s s e s sm u c h b e t t e rw e a rr e s s i s t a n c e t h a nT i N f i l m su n d e r a 1 1c o n d i t i o n s ．S oC r N x f i

16、l m si st h u sa p o t e n t i a l c a n d i d a t e f o r r e p l a c i n g T i Ni nc e r t a i n a p p l i c a t i o n s ．K e y w o r d s ：T i N f i l m s C r N x f i l m s A r c I o n P l a t i n g T r i b o l o g i c