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文檔簡介
1、中文 中文 2500 字出處: 出處:Zhang H F, Xie Q S, Qin C, et al. Optimal Design of Piezoelectric Cantilever for Micro Power[J]. 2006.畢業(yè)設計(論文)有關外文翻譯院 系: 系: 機械電子工程學院專 業(yè): 業(yè): 電子科學與技術 離。條狀的電極施加在懸臂表面并且收集電荷,最后輸出的電力被輸送到通過
2、一定的整流電路的 MEMS 器件或其他微器件。圖 1 機械為電能的轉換3 懸臂式壓電理論分析 懸臂式壓電理論分析從靜態(tài)分析具有典型的兩層懸臂壓電懸臂的電功率,如圖 2 所示。該層由 PZT 和硅組成。我們忽略電極層(金或鉑)的影響,因為這些層太薄,基本上不影響分析結果。我們將推導方程來計算懸臂式與感應電荷理論值。從偏轉功率和理論分析,其根據(jù)有兩個不同的負載:(1) F=10μN; (2) q=10μN/m. 圖 2
3、雙層懸臂的一端夾住而其他的自由3.1 3.1 壓電層的充電量 壓電層的充電量如果懸臂的寬度是固定的,每個層的厚度也是相同的,我們得到地層的厚度和長度的方程[4]。(1)? ? ??? ? ?? ? ? ? ? ???? ???? ??? ?23233112 1221sss s ppp pp p pz t t Y z t t YL z M Y d Qp p s sp s s sp t Y t Yt t t Y z ?? ? ? ? ) (
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