材料化學專業(yè)外文翻譯--合成β-mo2c薄膜（譯文）

1、中文 中文 4220 字畢業(yè)論文外文資料翻 畢業(yè)論文外文資料翻譯題 目 合成β-Mo2C 薄膜 和電子場發(fā)射[13]我們目的是用價格低廉的材料替代鉑族金屬來表面氫分離。這種材料合成的薄膜將有利于催化劑性能的基礎研究。許多技術已被用于沉積碳化鉬薄膜，包括化學氣相沉積（CVD） ，[8 14]，物理氣相沉積（PVD） ，[9，11]和電化學沉積。[15]Mo-C 是相當復雜的，它有眾多的穩(wěn)定和亞穩(wěn)化

2、合物和晶相。[14 16]，相純度的控制一直是個難題，CVD 和PVD 兩種方法的制備中，薄膜通常包含混合富含碳的產(chǎn)物，它是一個復雜的依賴具體操作條件選測的過程。[8，11，14]與此相反，它的催化應用制備所需的粉末狀β-Mo2C 相。[1-4]，后來 Boudart 和他的同事[1 2]開發(fā)出一種方法，加入 H2 稀釋的碳氫化合物并采用程序升溫反應或 TPR 的混合物轉換成高表面積Mo2C 密集的氧化鉬粉。 MoO3 轉變?yōu)?Mo

3、2C 方法涉及 MoO3 的晶格中的氧碳替代，在反應過程中有 Mo 原子的微小位移。因為 Mo2C 的摩爾體積比 MoO3 的摩爾體積小，微孔狀的氧化物轉換成碳化物。在適當條件下的氧化鉬被轉換成Mo2C 過程中沒有形成金屬鉬作為反應中間體。金屬燒結，避免使用這種方法，在物催化劑催化劑條件下，它可以準備具有很高的表面積（50-90 平方米/克） 。Rebrov et al.[5]采用這方法，形成催化劑通過預氧化的鉬片滲碳涂料把它們應用到水

4、煤氣變換反應。本實驗是合成純相的β-Mo2C 未來研究模型催化劑層薄膜。下面我們介紹一個兩步合成方法。首先，采用等離子體增強化學氣相沉積法（PECVD）在MoF6/H2/O2 混合物中使密集的氧化鉬薄膜沉積在硅片上。MoF6 在這種化學反應中是很獨特，以前的含鉬的化合物的反應是用 Mo（CO）的[17 18]或MoCl5[14，19]來化學氣相沉積。用 PECVD 參數(shù)來描述氧化物的增長速度和質量。使用的 PECVD 形成氧化物將產(chǎn)生

5、在更廣泛的承印物上。薄膜通過 TPR 的催化條件轉化為β-Mo2C 相。使用一套分析技術可將整個過程中膜的組成和結構的演變進行了量化。2 試驗一氧化氮合成 在 MoF6/H2/O2 混合在一個電容耦合的 PECVD 系統(tǒng)中使氧化鉬薄膜沉積。采用類似 PECVD 反應的化學的方法，用類似的氣體混合物（WF6/H2/O2）[17，20]已成功地應用于合成的電致變色 WO3 的薄膜。鉬六氟化硫(Acros Organic, 99.5 vol