大氣壓脈沖輝光放電輔助脈沖調(diào)制射頻輝光放電.pdf

1、大氣壓輝光放電近年來一直是等離子體研究熱點之一。在之前的研究中，對大氣壓輝光放電的幾種重要的形式即大氣壓脈沖輝光放電，大氣壓介質(zhì)阻擋輝光放電以及大氣壓射頻輝光放電等都做了大量的研究，這些放電形式都有著各自的特點，而脈沖調(diào)制射頻輝光放電實現(xiàn)了放電強度和放電穩(wěn)定性的有效調(diào)控，但也表現(xiàn)出新的問題，即放電的維持電壓偏高，起輝不易等問題。
　　本論文將在脈沖調(diào)制射頻輝光放電中射頻放電段之間引入脈沖放電，通過改變大氣壓脈沖放電與射頻放電段之間

2、的時間間隔和脈沖放電強度，研究脈沖放電對射頻放電段起輝階段的影響。
　　首先，通過比較大氣壓脈沖調(diào)制射頻輝光放電中引入脈沖放電后，與單純的脈沖調(diào)制射頻輝光放電的射頻放電段的起輝階段的電學(xué)特性和光學(xué)特性后，發(fā)現(xiàn)引入脈沖放電后射頻放電段的起輝時間變短，且起輝電壓和維持電壓也相應(yīng)降低。
　　然后，分別通過改變脈沖放電與射頻放電段時間間隔和脈沖放電放電強度來探究這兩個因素對射頻放電段的規(guī)律性影響。在脈沖放電強度不變的條件下的脈沖放電

3、與射頻放電段時間間隔為2μs，5μs和8μs這三種情況，以及在脈沖放電與射頻放電段時間間隔維持在5μs時，脈沖放電電流強度峰峰值為0.86A，1.22A和2.24A的三種情況下分別進行具體研究，通過研究發(fā)現(xiàn)，在脈沖放電強度的電流峰峰值為1.22A的情況下，隨著時間間隔的減小，射頻放電的起輝時間也在逐漸減少，最多可以減少0.8μs；而在脈沖放電與射頻放電段時間間隔為5μs不變的情況下，隨著脈沖放電電流強度的增加(電流強度峰峰值的大小不超過