薄膜制備中的紅外輻射測溫儀的研制.pdf

1、西安工業(yè)學(xué)院碩士學(xué)位論文薄膜制備中的紅外輻射測溫儀的研制姓名：何小映申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：光學(xué)工程指導(dǎo)教師：張謙20040301R e s e a r c h o n t h e I n f r a r e d t e m p e r a t u r e d e t e c t o rI n c o a t i n gD i s c i p l i n e : O p t i c a l E n g i n e e r

2、 i n gs i g n a t u r e :S u p e r v i s o r s i g n a t u r e :t t 。 義 ; 。丫 ‘ ” 矛/ 4 i Q 4 ' . 'ABS T R AC TT e m p e r a t u r e i s a n i m p o r t a n t i n d e x i n c o a t i n g . I t i s v e r

3、 y i m p o r t a n t t o t h e q u a l i t yo f t h e f i l m . I t i s v e r y s i g n i f i c a n t o f m e a s u r i n g a n d c o n t r o l l i n g t h i s p a r a m e t e r p r e c i s e l y . T h i

4、 s p a p e r a i m s a t t h e p a r a m e t e r , r e f e r r i n g t o t h e t r a d i t i o n a l m e t h o d , p u t f o r w a r d t o a k i n d o f m e t h o d c a l l e d a s I n f r a r e d r a

5、 d i o m e t e r . T h e o p t i c a l s y s t e m , c i r c u i ta n d s o f t w a r e h a s b e e n d e s i g n e d a n d m a d e . O n t h e b a s i s o f t h e m e a s u r e m e n t , t h et e m p e

6、r a t u r e c o n t r o l c i r c u i t h a s b e e n m a d e . E v e n t u a l l y t h e m e a s u r e m e n t a n d c o n t r o li n s t r u me n t h a s b e e n ma d e .T h e d e s i g n o f h a r d w

7、a r e i s b a s e d o n A T 8 9 C 5 2 . I t c o n s i s t s o f o p t i c a l s y s t e m ,a m p l i f i e r , f i l t e r , A / D , t e m p e r a t u r e c o n t r o l . T h e c o n t r o l c i r c u i t

8、 i n c l u d e s k e y b o a r d ,t e m p e r a t u r e d i s p l a y a n d e x e c u t o r .T h e d e s i g n o f s o f t w a r e i s f u l f i l l e d i n A T 8 9 C 5 2 ; i t c o n s i s t s o f A / D

9、c o n v e r s i o ns u b p r o g r a m , d i g i t a l f i l t e r , p u s h b u t o n j u d g e m e n t s u b p r o g r a m , t e m p e r a t u r e d i s p l a y s u b p r o g r a m , a n d t h e t e m p e r a

10、t u r e c o n t r o l s u b p r o g r a m . T h e s o f t w a r e w a s w o r k e d o u tb y l a n g u a g e C 5 1 , n o t b y t h e t r a d i t i o n a l a s s e m b l y l a n g u a g e , t h u s t h e

11、 e f f i c i e n c y w a sp r o m o t e d h i g h e r . A l s o i t a d o p t e d t h e t h o u g h t o f m o d u l a r i t y , t h u s t h e r e a d a b i l i t y a n d n a t u r a l i z a t i o n w a s p

12、 r o m o t e d .T h e m e a s u r e m e t h o d p u t f o r w a r d b y t h i s p a p e r i s n o n - c o n t a c t . I t i sc h a r a c t e r i s t i c b y n o n - d e s t r o y o f t h e t e m p e r a t

13、 u r e z o n e , m e a s u r e t h e s u r f a c et e m p e r a t u r e d i r e c t l y a n d h i g h - s p e e d . I t c a n c o n t r o l t h e t e m p e r a t u r e i n t h e r a n g e o ft h e e x p

14、e r i m e n t ' s d e m a n d .T h e m e a s u r e b o u n d o f t h i s i n s t r u m e n t i s 03 0 0 ℃，p r e c i s i o n i s 士5 0 C , s t a b i l i z a t i o n i s士 2 ' C . I t c a n m e e t t h