基于針-板DBD的微尺度放電模式探討.pdf

1、介質阻擋放電(Dielectric barrier discharge，DBD)，是一種利用典型的非平衡態(tài)交流氣體放電，它是在大氣壓下產生非平衡等離子體的一種有效手段，已成為等離子體學科的研究熱點之一。然而，介質阻擋放電體系具有高度的復雜性，常常表現出非常復雜的放電現象，簡單的尺度放大會嚴重影響放電性能。本文結合國家自然科學基金項目(編號：50877005)，對微尺度下針-板電極介質阻擋放電進行了研究。
　　 微放電模式是工業(yè)應

2、用中DBD的主要放電模式，微流注又是DBD中的主要放電單元。本文建立針-板DBD裝置獲得的獨立微流注，在微尺度下首先利用CCD快速照相的方法對微放電的放電形貌進行了采集，實驗驗證了微流注演化的全過程，發(fā)現由于沉積電荷的作用會使得在放電發(fā)展的過程中放電通道發(fā)生彎曲，并設定了描述微流注放電空間形貌的三個參量，發(fā)現激勵電壓和介質層厚度對三個參量的影響較大，而放電間隙對其影響較小。
　　 實驗中發(fā)現，在針-板DBD裝置中，當激勵電壓達到

3、一定值時，放電空間不是只存在微流注放電一種放電形式，而是還存在一種類似于低氣壓輝光放電的放電形式——微輝光放電，這種放電模式在激勵電壓較高時與微放電在不同的放電半周期內交替出現。通過放電形貌發(fā)現，微輝光放電的放電形貌與低氣壓下輝光放電非常相似；通過電流波形發(fā)現，微輝光放電具有一個較寬的電流脈沖(25us)，并且每個周期只存在一次放電，Lissajous圖形也表現出了幾次電荷的躍變，說明了這是一種與微流注放電完全不同的放電形式。