石墨烯硅基光電二極管的研究.pdf

1、石墨烯是由單層碳原子密堆成二維蜂窩狀晶格結(jié)構(gòu)的一種新型碳材料。石墨烯因為其特殊的原子結(jié)構(gòu)，相比現(xiàn)有的大部分金屬和半導體材料，具有極高的載流子遷移率、超高的電子運動速度，良好的透光率，優(yōu)秀的力學性質(zhì)以及很好的導熱性等優(yōu)點，自從其被發(fā)現(xiàn)一來受到科研工作者廣泛的關(guān)注。本論文研究石墨烯/硅光電二極管的微納加工工藝,優(yōu)化結(jié)構(gòu)改進石墨烯/硅光電二極管響應度以及光電轉(zhuǎn)換效率。
　　本研究主要內(nèi)容包括：⑴研究了石墨烯/硅光電二極管的制作工藝和性能

2、分析。用拉曼，原子力顯微鏡(AFM)和掃描電子顯微鏡(SEM)等方法表征石墨烯質(zhì)量和石墨烯/硅(Gr/Si)器件結(jié)構(gòu)。分析了器件的I-V特性，抽取出二極管的重要參數(shù)，討論光強和偏壓對器件電流密度和響應度的影響。測試器件的光電轉(zhuǎn)換效率，響應速度，研究其影響因素。研究器件的光電增益，計算大偏壓下的倍增因子。⑵研究了硅量子點/石墨烯/硅(SiQDs/Gr/Si)異質(zhì)結(jié)的制備與性能分析。首先，研究了硅量子點薄膜的旋涂工藝和器件的制備工藝。然后測