可調(diào)諧MEMS諧振器關(guān)鍵技術(shù)研究及應(yīng)用.pdf

1、MEMS諧振器大量應(yīng)用在實(shí)時(shí)時(shí)鐘、參考振蕩器及濾波器/混合器等前端無(wú)線收發(fā)部分,是濾波器及雙工器、振蕩器中的主要構(gòu)件。本文提出一種靜電激勵(lì)可調(diào)諧微諧振器,在橫向施加諧振激勵(lì)電壓基礎(chǔ)上,軸向加載,實(shí)現(xiàn)頻率兩級(jí)可調(diào)。
　　論文主要包括以下內(nèi)容:
　　1.提出一種可調(diào)諧微諧振器結(jié)構(gòu)模型,通過(guò)改變拉伸量與調(diào)節(jié)電壓實(shí)現(xiàn)頻率調(diào)節(jié),并根據(jù)設(shè)計(jì)要求確定微梁的結(jié)構(gòu)形式與尺寸。推導(dǎo)出微諧振器的動(dòng)力學(xué)方程,用 MATLAB軟件進(jìn)行幅頻響應(yīng)仿真,得

2、出不同拉伸量及不同調(diào)節(jié)電壓分別對(duì)應(yīng)的幅頻響應(yīng)曲線,得出拉伸量與調(diào)節(jié)電壓的調(diào)諧范圍分別為395480ppm、16ppm。
　　2.采用 COMSOL有限元軟件對(duì)設(shè)計(jì)的微諧振器進(jìn)行仿真分析。首先進(jìn)行模態(tài)分析,得到了前六階的振型與諧振頻率;然后對(duì)微諧振器整體進(jìn)行建模分析,得到了振動(dòng)幅度與應(yīng)力分布圖以及幅頻響應(yīng)曲線;最后仿真得到諧振梁與下電極間耦合電容。
　　3.采用 ADS射頻仿真軟件對(duì)微諧振器等效電路進(jìn)行仿真分析,分別得到空氣介