應用于高壓電柜的聲表面波溫度傳感系統(tǒng).pdf

1、高壓電柜是電網(wǎng)中的一種重要設備，長期工作于高溫高壓的惡劣環(huán)境中，需要一種可靠且經(jīng)濟的實時測溫系統(tǒng)以保障設備的正常運行，而聲表面波溫度傳感器具有的無源無線特性恰好適應了這種測溫需求。論文以聲表面波技術為基礎，設計了一款諧振器型聲表面波溫度傳感器，能夠滿足高壓電柜的現(xiàn)場測溫，并對溫度傳感器制作過程中可能遇到的實際工藝問題，提出了可行的解決方法，實現(xiàn)了該款溫度傳感器的批量生產(chǎn)。
　　論文研究了壓電材料的壓電特性，并根據(jù)聲表面波溫度傳感器

2、對壓電材料的要求，對四種常見的壓電材料進行了比較，包括頻率溫度系數(shù)以及用四種材料制作的溫度傳感器對應的頻率溫度曲線和回波信號，選擇YX石英作為制作聲表面波溫度傳感器的壓電材料。
　　論文對諧振器型聲表面波溫度傳感器的版圖設計過程進行了研究，并根據(jù)實際需求優(yōu)化了設計方案，減少了寄生響應，提高了器件性能。
　　論文研究了諧振器型聲表面波溫度傳感器的制作工藝，對各道工藝中的工藝流程和工藝難點進行了簡單分析，并針對工藝過程中碰到的問

3、題，提出可行的解決方法:從蒸發(fā)工藝和清洗工藝兩方面入手，以解決基片表面鋁膜粘附性差的問題;通過在蒸發(fā)臺合適位置加裝調(diào)整板以解決蒸發(fā)工藝中膜厚均勻性偏低的問題;通過在制作完成的芯片上涂敷SiO2膜保護芯片，解決器件制作過程中工藝本身或工藝環(huán)境對芯片造成的損壞;從壓焊材料的選擇到壓焊參數(shù)的調(diào)整，確定了單端對諧振器型聲表面波溫度傳感器壓絲工藝的工藝條件，并選擇了壓絲工藝中兩種典型的失效模式進行分析，提出了可行的解決方法。
　　論文結合閱