一種小型輝光放電光譜分析系統(tǒng)的研究.pdf

1、輝光放電原子發(fā)射光譜儀可以用于材料表面物質(zhì)成分的分析檢測，它能夠直接分析固體樣品，并能對樣品表面進行沿深度方向的逐層分析。近年來，輝光放電光譜儀廣泛應(yīng)用于金屬涂鍍層、超硬涂層、有機涂層等材料的分析檢測領(lǐng)域，為材料表面成分分析、生產(chǎn)工藝改善、產(chǎn)品質(zhì)量檢驗等應(yīng)用研究提供了有效的分析手段。因此，對輝光放電光譜儀相關(guān)技術(shù)及其應(yīng)用的研究是國內(nèi)外分析儀器領(lǐng)域的一個研究熱點。
　　光譜分析儀器的小型化是其發(fā)展的一個重要研究方向，小型光譜儀可以彌

2、補傳統(tǒng)大型儀器結(jié)構(gòu)復(fù)雜、價格昂貴等不足。本文研究了一種小型射頻輝光放電光譜分析系統(tǒng)，采用便攜式CCD光譜檢測器代替?zhèn)鹘y(tǒng)的多道分光檢測系統(tǒng)，并設(shè)計了適用于CCD檢測器的輝光放電激發(fā)源和實驗平臺，簡化了輝光光譜儀的結(jié)構(gòu)，減小了儀器的體積?？蓱?yīng)用于小型分析實驗室、材料質(zhì)檢部門及學(xué)校研究室等多種場合。
　　本文設(shè)計完成了小型射頻輝光放電光譜分析系統(tǒng)的實驗平臺。其中包括輝光放電激發(fā)源、射頻供電系統(tǒng)、CCD光譜檢測系統(tǒng)、樣品裝載裝置和抽真空裝

3、置。詳細介紹了輝光放電激發(fā)源的設(shè)計方案，并給出了各項結(jié)構(gòu)參數(shù)。介紹了射頻供電系統(tǒng)的原理和調(diào)試方法。設(shè)計完成了樣品裝載裝置和抽真空裝置，并對樣品與陽極筒端面的距離進行了優(yōu)化。通過實驗確定了射頻功率、放電氣壓等實驗條件。
　　采用本系統(tǒng)對鍍鋅板、鐵基塊狀樣品、銅基塊狀樣品三種不同基體金屬樣品進行了濺射激發(fā)，均得到了良好的濺射坑型。采用愛萬提斯CCD光譜檢測器對特征光譜信號進行了采集和分析，在鍍鋅板樣品中檢測到Zn、Fe、Cu、Al和P