氣體放電激光器高頻電源控制系統(tǒng)的研究.pdf

1、射頻板條CO2激光器因其體積小、免維護(hù)、光束質(zhì)量好等特點，已成為工業(yè)加工和科研實驗中重要的激光光源，而射頻電源控制器是控制激光器射頻放電、輸出功率、脈沖波形的技術(shù)關(guān)鍵，因此研究射頻電源的控制系統(tǒng)具有十分重要的現(xiàn)實意義。本文基于DSP控制芯片和LabVIEW軟件設(shè)計了用于射頻板條CO2激光器的控制系統(tǒng)，主要內(nèi)容如下：
　?。?）研究了射頻電源的工作原理及其控制方法，設(shè)計了基于DSP控制芯片的射頻電源的控制器。該控制器以芯片TMS32

2、0F28335為基礎(chǔ)，設(shè)計了外圍電路、PWM信號輸出通道、激光器工作狀態(tài)下的信息反饋通道等。
　?。?）在CCS軟件平臺上，完成了DSP控制器嵌入式程序的開發(fā)，包括控制器PWM信號輸出、激光器狀態(tài)監(jiān)測以及與PC上位機(jī)通信的程序。程序基于脈寬調(diào)制和重復(fù)頻率調(diào)制方式，實現(xiàn)了PW M信號輸出通道能夠按照功率要求輸出不同的占空比，并能夠?qū)崟r監(jiān)控激光器的工作狀態(tài)，保證激光器工作在安全狀態(tài)。
　?。?）基于LabVIEW軟件為激光器控制