空心激光與硅材料作用產(chǎn)生溫度場的數(shù)值模擬與分析.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本研究建立了空心激光與硅材料相互作用的理論模型，基于有限元方法通過COMSOL軟件進行仿真模擬，得到了空心激光與硅材料作用產(chǎn)生的溫度和熱應(yīng)力的分布，總結(jié)了空心激光對硅材料作用產(chǎn)生溫度場和應(yīng)力場的一些特征和規(guī)律。數(shù)值結(jié)果表明，空心激光作用在硅材料表面的溫度是外圍高中間低的，雖然空心激光中心的光強為零，對應(yīng)的材料位置沒有直接受到激光的輻照，但是由于熱傳導的作用，四周的熱量會向中心位置匯聚，使中心位置的溫度慢慢升高。同時用空心激光和實心激光與

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