寬帶反射膜和誘導(dǎo)透射濾光片的優(yōu)化設(shè)計(jì)與性能分析.pdf

1、隨著國(guó)民經(jīng)濟(jì)的騰飛以及各種高科技設(shè)備的飛速發(fā)展，光學(xué)薄膜被越來(lái)越廣泛地應(yīng)用在光學(xué)器件、光電器件以及光通信器件上。本文主要針對(duì)寬帶高反膜和誘導(dǎo)透射濾光片進(jìn)行設(shè)計(jì)并分析其光學(xué)特性。
　　寬帶反射膜在宇宙物理、生命科學(xué)、同步輻射、原子結(jié)構(gòu)、納米器件、大氣物理、空間通訊、光刻技術(shù)、激光醫(yī)療設(shè)備、定位及監(jiān)控系統(tǒng)、武器系統(tǒng)等領(lǐng)域有著極其重要的應(yīng)用。目前寬帶反射膜存在著材料的折射率有限、反射帶寬和反射率不能滿足需要、制備過(guò)程中薄膜的厚度和折射率

2、難以精確控制等重要的問(wèn)題。為了滿足光學(xué)元件對(duì)寬光譜反射的要求，采用多個(gè)膜堆結(jié)構(gòu)展寬反射帶以及其他設(shè)計(jì)方法，使用TFCalc優(yōu)化設(shè)計(jì)膜系，對(duì)膜系結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行不斷地改進(jìn)和調(diào)整，設(shè)計(jì)了帶寬為115～220nm、220～400nm、400～900nm，900～2000nm和450～14000nm入射角分別為0°和60°的多個(gè)反射膜并且對(duì)其性能進(jìn)行了分析。結(jié)果表明：所設(shè)計(jì)的反射膜的反射率在超寬光譜的范圍內(nèi)均達(dá)到了很高的水平；周期結(jié)構(gòu)膜系與級(jí)數(shù)遞增