干式真空泵整機(jī)性能及關(guān)鍵部件可靠性測試方法研究.pdf

1、干式真空泵是未來真空泵的發(fā)展趨勢，具有廣闊的市場。但國產(chǎn)干式真空泵的可靠性不高，平均無故障運(yùn)行時(shí)間短，這阻礙了國產(chǎn)干式真空泵的發(fā)展。為了提高干式真空泵的可靠性，本文進(jìn)行了干式真空泵整機(jī)性能及關(guān)鍵部件可靠性測試方法的研究。
　　首先，設(shè)計(jì)和搭建了基于力控組態(tài)軟件的整機(jī)監(jiān)測平臺(tái)，對(duì)泵的運(yùn)行狀態(tài)及運(yùn)行過程中的動(dòng)態(tài)參數(shù)進(jìn)行提取，為設(shè)計(jì)人員提供了基礎(chǔ)數(shù)據(jù)。針對(duì)干式真空泵的剮蹭故障，研制了一套基于硬件包絡(luò)解調(diào)原理的電路，成功的提取了故障信號(hào)。

2、
　　其次，軸承是干式真空泵的關(guān)鍵旋轉(zhuǎn)部件，對(duì)可靠性的影響很大。本文利用振動(dòng)測試的方法，綜合振動(dòng)有效值、峭度、倒頻譜、包絡(luò)譜等信號(hào)特征，對(duì)故障軸承的故障原因進(jìn)行分析，在此基礎(chǔ)上制定了一套軸承檢測工藝規(guī)程，保證了裝機(jī)軸承的可靠性。
　　再次，針對(duì)干式渦旋真空泵的振動(dòng)平衡問題，從其工作原理、機(jī)械動(dòng)力學(xué)模型、漸開線型線的理論偏心等方面進(jìn)行了分析。提出了核心部件的動(dòng)平衡設(shè)計(jì)方法并用 SolidWorks進(jìn)行了三維建模，其中包括動(dòng)渦旋

3、盤的質(zhì)心調(diào)整，扇葉上下兩個(gè)扇區(qū)厚度差異設(shè)計(jì)，完成了整套的動(dòng)平衡工藝方法，并用 Fluent對(duì)關(guān)鍵部件進(jìn)行空氣動(dòng)力學(xué)的仿真，并依此設(shè)計(jì)和制作了專用夾具。通過整套的平衡工藝，渦旋泵整機(jī)動(dòng)平衡精度可達(dá)0.2g以下，工作過程中的振動(dòng)數(shù)值降到1mm/s左右，減振效果明顯，平均用時(shí)15分鐘，生產(chǎn)效率得到了極大提高。
　　通過以上三方面的工作，獲取了干泵運(yùn)轉(zhuǎn)過程中的動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)；成功提取剮蹭故障信號(hào)；確保了裝機(jī)軸承的質(zhì)量；降低了渦旋泵的振動(dòng)幅值，有