激光器波長(zhǎng)測(cè)量裝置研究.pdf

1、激光干涉技術(shù)是重要的測(cè)量技術(shù)，廣泛應(yīng)用于尺寸、形位和表面形貌測(cè)量。在這些測(cè)量中，激光波長(zhǎng)均作為測(cè)量基準(zhǔn)，其穩(wěn)定性、準(zhǔn)確性對(duì)儀器的精度具有很大的影響。然而，由于環(huán)境條件和驅(qū)動(dòng)電源波動(dòng)的影響，激光器波長(zhǎng)變化不可避免。因此，為保證儀器的測(cè)量精度和穩(wěn)定性，激光器波長(zhǎng)的實(shí)時(shí)測(cè)量校準(zhǔn)是必要的。本文基于光柵衍射原理，開(kāi)發(fā)一種激光器波長(zhǎng)測(cè)量裝置，主要研究?jī)?nèi)容與成果包括：
　　1、研究分析了四象限光電探測(cè)器(QD)光斑中心定位原理，提出了基于光柵衍

2、射原理結(jié)合雙四象限光電探測(cè)器進(jìn)行光斑中心定位的波長(zhǎng)測(cè)量原理，設(shè)計(jì)了測(cè)量系統(tǒng)架構(gòu)，構(gòu)建了測(cè)量裝置。
　　2、設(shè)計(jì)了四象限光電探測(cè)器信號(hào)處理電路，包括探測(cè)器前置放大電路和光斑中心計(jì)算電路。其中，前置放大電路將光電單元電流信號(hào)轉(zhuǎn)換為電壓信號(hào)，光斑中心計(jì)算電路將四路電壓信號(hào)轉(zhuǎn)換為帶有光斑中心信息的電壓信號(hào)，通過(guò)PCI采集卡輸入計(jì)算機(jī)進(jìn)行處理。
　　3、建立了均勻分布和高斯分布兩種激光光斑模型，采用Matlab仿真，得到了四象限探測(cè)器