時柵測量裝備熱特性的研究及其精度分析.pdf

1、隨著德國“工業(yè)4.0”高科技戰(zhàn)略計(jì)劃的提出，一場以智能制造為主導(dǎo)的第四次工業(yè)革命悄然爆發(fā)。在場式時柵位移傳感器各種誤差源中，在工作環(huán)境惡劣的情況下，熱誤差是影響時柵精度的重要誤差源。而且，隨著時柵精密度越高，熱誤差所占比例越大，因此減小熱誤差對提高時柵傳感器的測量精度具有至關(guān)重要的意義。綜合國內(nèi)研究者的研究內(nèi)容，場式時柵熱誤差的分析主要從時柵測量角度表達(dá)式出發(fā)，對影響測量角度量旋轉(zhuǎn)磁場角速度、插補(bǔ)脈沖個數(shù)、插補(bǔ)脈沖信號的周期這三個量開展

2、研究。
　　本文簡要介紹時柵傳感器的理論，將場式時柵傳感器分成信號發(fā)生部分和信號處理部分，從信號發(fā)生部分和信號處理部分兩大方面參考國內(nèi)文獻(xiàn)詳細(xì)分析場式時柵傳感器的各項(xiàng)誤差源，從各項(xiàng)誤差源中找出影響場式時柵傳感器的熱誤差項(xiàng)，從場式時柵位移傳感器的誤差源的分析來看，這些誤差源不僅種類繁多而且大部分定量分析比較困難，熱誤差源的分析將在各個誤差分析的基礎(chǔ)上進(jìn)行歸類分析，得到場式時柵位移傳感器熱誤差的實(shí)際評定方法，理論上提出溫度對場式時柵傳