LED弱相干相移數(shù)字全息顯微術及相移定標技術研究.pdf

1、數(shù)字全息顯微術是數(shù)字全息術的一項重要分支,它在顯微測量領域發(fā)揮著重要作用,并擁有廣闊的發(fā)展前景。相比于傳統(tǒng)的光學顯微術,該技術可以同時記錄物體的振幅信息和相位信息,從而再現(xiàn)物體的三維立體像。數(shù)字全息顯微術通過數(shù)字再現(xiàn)的方法,采用頻域濾波技術或者相移技術,根據(jù)衍射理論實現(xiàn)物光波信息的重建。純數(shù)字的處理過程給再現(xiàn)像的圖像處理帶來了更靈活的操作空間。其中,相移技術能有效的解決同軸式和離軸式數(shù)字全息術的零級衍射和孿生像的影響。但是相移技術對相移

2、量要求嚴格,而且在現(xiàn)實測量環(huán)境中比較難實現(xiàn)精準相移量的定標,因此對相移技術中相移量定標問題的研究是值得探索的?，F(xiàn)階段,數(shù)字全息顯微術主要采用激光作為光源。但是相移數(shù)字全息顯微術通常需要復雜的光路,這樣會引起光路中光學器件的多級反射,高相干性的激光會在全息圖中引入大量的散斑噪聲和寄生干涉條紋。弱相干光源能有效的減少這些噪聲,本文就LED弱相干光源的相移數(shù)字全息顯微術進行了實驗探究。本文主要工作分為以下幾部分:
　　1.對相移技術的定

3、標問題進行了探究。采用傅里葉變換相移量確定術實現(xiàn)了自定標相移數(shù)字全息顯微術。使用USAF-1957-1X分辨率板作為待測物體,通過對比自定標相移數(shù)字全息顯微術和傳統(tǒng)相移數(shù)字全息顯微術的實驗結果,證明了自定標相移數(shù)字全息顯微術的優(yōu)越性。
　　2.采用LED弱相干光源作為相移數(shù)字全息顯微術的光源進行了有關實驗。首先分析了LED光源的相干性。然后搭建了基于LED弱相干光的數(shù)字全息顯微成像系統(tǒng),利用USAF-1957-1X分辨率板作為待測