基于脈沖微孔噴射法(POEM)制備微粒子的理論建模與數(shù)值模擬.pdf

1、球形微米級粒子特指尺寸在納米和毫米之間的球形粉末顆粒，目前在球形硅太陽能電池、硅鍺半導體集成電路、電子封裝領域、制備精密儀器乃至快速成型制造領域都具有廣泛的應用前景。脈沖微孔噴射法(POEM)屬于按需噴射，在壓力差和壓電陶瓷的共同作用下使微小液柱從小孔中噴出，在表面張力的作用下頸縮形成液滴。壓電陶瓷往復運動，每向下運動一次產生一個液滴，每個液滴形成的條件完全相同，不受實驗環(huán)境的影響，因此粒徑分布窄、圓球度高、熱履歷和微觀結構均趨于一致。

2、
　　本文基于自行研制的微米級均勻粒子制備設備—POEM，借助于流體動力學軟件-Fluent，建立液滴形成和振動模型，探討液滴頸縮和振動機理，研究液滴物性值和實驗參數(shù)等對頸縮和振動的影響;此外，建立凝固-傳熱模型，分析Fe-Co基金屬玻璃粒子形成的臨界條件。通過研究，得到如下結論:POEM設備屬于按需噴射，由向下運動的傳動桿將微小液柱從小孔中噴出，在表面張力的作用下頸縮形成液滴;液體的物性值（例如液體與坩堝的潤濕角、表面張力、粘度

3、等）對液滴的頸縮行為具有重要影響;只有當液體與坩堝的潤濕角大于等于90°時才能頸縮得到液滴;當表面張力較小時會產生附加的衛(wèi)星滴，當表面張力特別大時由于不能提供表面能導致頸縮失敗;粘度可以衡量流體的內摩擦力和機械能的損耗，隨著粘度的增加頸縮時間會延遲，當粘度特別高時，由于能量消耗會導致頸縮失敗;實驗參數(shù)與液滴的頸縮行為也有密切關系;用不同孔徑尺寸制備微粒子時，微孔尺寸越小，表面張力的作用越明顯，因此需要適當增大差壓，而隨微孔尺寸增加時，為

4、了獲得穩(wěn)定液滴需要增大傳動桿的速度;頸縮后的液滴在下落過程中做阻尼振動，由最初的不規(guī)則橢球形逐漸振動為球形;材料本身的物性值（如表面張力、粘度等）對液滴的振動有很大影響:增大表面張力，振動頻率加快，振動時間縮短;粘度增加，振動頻率幾乎不受影響，而振動時間顯著降低;用POEM設備在純He氣氛和混合氣氛（50％He+50％Ar）制備粒徑均勻、圓球度高、具有不同粒徑的[(Fe0.5Co0.5)0.75B0.2Si0.05]96Nb4金屬玻璃粒